[實(shí)用新型]多晶硅鑄錠爐高效率加熱器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520546041.0
• 申請日: 2015-07-24
• 公開（公告）號: CN204874822U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 芮敏之
• 申請（專利權(quán)）人: 美爾森先進(jìn)石墨（昆山）有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 昆山四方專利事務(wù)所 32212
• 代理人: 盛建德;段新穎

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種為多晶硅鑄錠爐提供熱場的加熱器，具體是涉及一種多晶硅鑄錠爐高效率加熱器。

背景技術(shù)

多晶硅鑄錠爐主要包括坩堝、加熱器、隔熱籠、爐腔殼體，爐腔殼體內(nèi)設(shè)置坩堝，坩堝置于石墨冷卻塊上，坩鍋的上方設(shè)置有罩住坩堝上面和側(cè)面的加熱器，加熱器為坩堝內(nèi)硅材料提供加熱源，形成爐腔殼體內(nèi)的加熱場?，F(xiàn)有技術(shù)中，加熱器通常包括位于坩堝上方的第一加熱器組件和位于坩堝四周的第二加熱器組件，第一加熱器組件由多塊呈N型和U型的電阻拼接而成，第二加熱器組件由四塊呈波浪型的電阻依次首尾相連而成，第一加熱器組件通過多個連接件與第二加熱器組件連接為一體。由于加熱器周側(cè)及頂部圍成的空間決定了多晶硅鑄錠用坩堝的大小，也就決定了多晶硅錠的產(chǎn)量，因此，現(xiàn)在技術(shù)中這種結(jié)構(gòu)限制了坩堝的大小，進(jìn)而限制了多晶硅錠的產(chǎn)量。此外，用于第二加熱器組件首尾相連的連接板通常為直角結(jié)構(gòu)，在加熱器冷熱交替過程中，容易產(chǎn)生折斷，造成加熱器損壞。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種多晶硅鑄錠爐高效率加熱器，能夠有效拓展加熱器圍成的內(nèi)部空間，增加多晶硅錠的產(chǎn)量，且可以增加側(cè)部加熱器的抗折斷能力，還可以調(diào)節(jié)熱場。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種多晶硅鑄錠爐高效率加熱器，包括設(shè)于鑄錠爐的坩堝四周的側(cè)部加熱器，所述側(cè)部加熱器包括四塊呈波浪形的石墨電阻，四個石墨電阻的首尾通過連接板固定連接，形成一方形環(huán)，所述連接板包括折彎面和位于所述折彎面兩側(cè)的連接面，所述折彎面及兩個連接面一體折彎成型，兩個連接面通過碳碳螺栓分別與相鄰的兩個石墨電阻固定連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，還包括設(shè)于鑄錠爐的坩堝頂部可升降調(diào)節(jié)的頂部加熱器。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，設(shè)有若干滑桿，每個滑桿可升降穿設(shè)定位于所述鑄錠爐的爐腔殼體頂部，若干所述滑桿的底端與所述頂部加熱器固定連接。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型提供一種多晶硅鑄錠爐高效率加熱器，相對現(xiàn)有技術(shù)中90度直角兩面連接的連接板結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型中折彎面和其兩側(cè)的兩個連接面形成一種三個面橋梁式過渡連接的連接板結(jié)構(gòu)，可有效拓展側(cè)部加熱器圍成的空間，從而能夠設(shè)置較大的坩堝，進(jìn)而增加多晶硅錠的產(chǎn)量，且這種三個面橋梁式過渡連接的連接板結(jié)構(gòu)能夠增加其抗折斷能力，避免在頻繁加熱冷卻過程中造成連接板折斷，導(dǎo)致加熱器損壞。較佳的，還設(shè)有頂部加熱器，頂部加熱器與側(cè)部加熱器配合，形成一個包圍坩堝頂部和側(cè)部的罩狀結(jié)構(gòu)，可為坩堝提供一個穩(wěn)定可靠高效的熱場。通過頂部加熱器的可升降調(diào)節(jié)，可調(diào)節(jié)頂部加熱器與坩堝頂部的距離，從而可根據(jù)實(shí)際需要調(diào)節(jié)熱場。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

結(jié)合附圖，作以下說明：

1——側(cè)部加熱器11——石墨電阻

12——連接板121——折彎面

122——連接面2——頂部加熱器

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。

如圖1所示，一種多晶硅鑄錠爐高效率加熱器，包括設(shè)于鑄錠爐的坩堝四周的側(cè)部加熱器1，所述側(cè)部加熱器包括四塊呈波浪形的石墨電阻11，四個石墨電阻的首尾通過連接板12固定連接，形成一方形環(huán)，所述連接板包括折彎面121和位于所述折彎面兩側(cè)的連接面122，所述折彎面及兩個連接面一體折彎成型，兩個連接面通過碳碳螺栓分別與相鄰的兩個石墨電阻固定連接。相對現(xiàn)有技術(shù)中90度直角兩面連接的連接板結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型中折彎面和其兩側(cè)的兩個連接面形成一種三個面橋梁式過渡連接的連接板結(jié)構(gòu)，可有效拓展側(cè)部加熱器圍成的空間，從而能夠設(shè)置較大的坩堝，進(jìn)而增加多晶硅錠的產(chǎn)量，且這種三個面橋梁式過渡連接的連接板結(jié)構(gòu)能夠增加其抗折斷能力，避免在頻繁加熱冷卻過程中造成連接板折斷，導(dǎo)致加熱器損壞。

優(yōu)選的，還包括設(shè)于鑄錠爐的坩堝頂部可升降調(diào)節(jié)的頂部加熱器2。這樣，頂部加熱器與側(cè)部加熱器配合，形成一個包圍坩堝頂部和側(cè)部的罩狀結(jié)構(gòu)，可為坩堝提供一個穩(wěn)定可靠高效的熱場，頂部加熱器和側(cè)部加熱器均通過石墨電極通電加熱。由于頂部加熱器可升降調(diào)節(jié)，因此可調(diào)節(jié)頂部加熱器與坩堝頂部的距離，從而可根據(jù)實(shí)際需要調(diào)節(jié)熱場。

優(yōu)選的，設(shè)有若干滑桿，每個滑桿可升降穿設(shè)定位于所述鑄錠爐的爐腔殼體頂部，若干所述滑桿的底端與所述頂部加熱器固定連接。作為一種優(yōu)選實(shí)施例，頂部加熱器通過可上下移動滑動并定位的滑桿實(shí)現(xiàn)其升降功能。

以上實(shí)施例是參照附圖，對本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員通過對上述實(shí)施例進(jìn)行各種形式上的修改或變更，但不背離本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)的情況下，都落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。