[實(shí)用新型]一種多管芯特性監(jiān)測(cè)的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520535792.2
• 申請(qǐng)日: 2015-07-21
• 公開（公告）號(hào): CN204758260U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周鵬磊;馬寧;劉玉鳳;郭維振;劉榮華;郭在征;陳博倫;董琳琳;王瑞松;汪祎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京杏林睿光科技有限公司
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02;G01R31/26;G02B6/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體激光光束的監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種同時(shí)監(jiān)測(cè)多個(gè)半導(dǎo)體激光光束的結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

在工業(yè)、醫(yī)學(xué)和科研領(lǐng)域中廣泛地使用400~1550nm等激光作為工作光源，這些光經(jīng)常需要大功率連續(xù)輸出使用，尤其是多種波長(zhǎng)同時(shí)工作的光源，在使用的過程中無法再次測(cè)試工作光源的光電參數(shù)如功率、波長(zhǎng)等，且測(cè)試時(shí)需要避免不同波長(zhǎng)之間的相互干擾，所以需要提供一個(gè)能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工作中的激光輸出狀態(tài)的監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)。

傳統(tǒng)的技術(shù)方案是在激光器芯片的發(fā)光面背面安裝探測(cè)器件，對(duì)激光器的光電特性進(jìn)行采集，且無法同時(shí)采集多個(gè)激光器芯片。在此方案中，多支激光器對(duì)應(yīng)同一個(gè)探測(cè)器，采集到的光是激光器輸出光漏出的部分或者激光器外殼內(nèi)壁漫反射回來的環(huán)境光，光束沒有方向性；該環(huán)境光的測(cè)試數(shù)值會(huì)根據(jù)激光器的數(shù)量變化而成非線性變化，且不同波長(zhǎng)的激光器需要多種不同波長(zhǎng)響應(yīng)的探測(cè)器件，或者探測(cè)器件前端加不同波長(zhǎng)的濾色片；采集的準(zhǔn)確性會(huì)受到不同波長(zhǎng)光束之間的影響，所以很難長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的監(jiān)測(cè)激光器輸出情況，而且生產(chǎn)工藝較復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種多管芯特性監(jiān)測(cè)的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)使多束激光光束在快軸和慢軸方向都得到了準(zhǔn)直，在匯聚成為準(zhǔn)平行光束的同時(shí)完成了對(duì)激光器的監(jiān)測(cè)，解除了傳統(tǒng)技術(shù)方案中單一探測(cè)器監(jiān)測(cè)非線性的限制及不同波長(zhǎng)相互干擾的限制，降低了激光器裝調(diào)的難度，在保證獲得最佳監(jiān)測(cè)效果的同時(shí)還減少了激光器使用器件的數(shù)量，增加激光器內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的靈活性。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種多管芯特性監(jiān)測(cè)的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)，其特征在于，將多支激光器安裝在同一個(gè)熱沉底板上，激光器的出光方向均一致，每支激光器對(duì)應(yīng)一路獨(dú)立的光學(xué)單元，該單元包括快軸準(zhǔn)直鏡、慢軸準(zhǔn)直鏡、PD反射鏡；從激光器出射的光束經(jīng)過快軸準(zhǔn)直鏡和慢軸準(zhǔn)直鏡準(zhǔn)直成準(zhǔn)平行光束，準(zhǔn)直后的準(zhǔn)平行光束入射到PD反射鏡上，通過PD反射鏡采集所對(duì)應(yīng)單元的激光器特性，同時(shí)通過PD反射鏡將多支激光器出射的準(zhǔn)平行光進(jìn)行合束，合束光由聚焦透鏡匯聚成像到光纖端面上耦合輸出。

其中，多支激光器安裝在同一個(gè)熱沉底板上，可為相同波長(zhǎng)相同或是波長(zhǎng)不同的激光器，激光器的數(shù)量為n，則n≥2。

其中，PD反射鏡，由一個(gè)光電探測(cè)器和鍍膜的窗片組成，也可以在光電探測(cè)器前端直接鍍膜。

其中，光電探測(cè)器和窗片，表面鍍分光膜，分光膜按照一定比例將激光器芯片發(fā)出的光束分成透射光和反射光。分光膜的分光比例可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)為任意比例。

其中，透射光和反射光，將入射的光束分束，反射光進(jìn)行合束后耦合輸出，透射光直接入射到光電探測(cè)器件中，進(jìn)行功率采集。

其中，聚焦透鏡可以是球面、非球面或自聚焦透鏡。

其中，所述光纖端面經(jīng)過研磨和拋光，并鍍?cè)鐾改ぁ?/p>

本實(shí)用新型的有益效果是：通過對(duì)激光光束采用快慢軸完全準(zhǔn)直的結(jié)構(gòu)，利用PD反射鏡進(jìn)行合束，合束的同時(shí)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，解除了多束光無法同時(shí)監(jiān)測(cè)且相互干擾的限制，該結(jié)構(gòu)在探測(cè)器安裝時(shí)對(duì)其位置的要求不再嚴(yán)苛，調(diào)節(jié)合束時(shí)已將探測(cè)器同時(shí)安裝好，從而降低了激光器裝調(diào)的難度，并且，針對(duì)多種不同波長(zhǎng)的激光器芯片，通過探測(cè)器和激光器一一對(duì)應(yīng)的方式，達(dá)到獨(dú)立監(jiān)測(cè)的目的，保證獲得最佳的檢測(cè)效果。

附圖說明

圖1是多管芯功率監(jiān)測(cè)的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)的方案示意圖。

圖2是PD反射鏡結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是多管芯功率監(jiān)測(cè)的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)的立體示意圖。

圖中：1.激光器芯片，2.快軸準(zhǔn)直透鏡，3.慢軸準(zhǔn)直透鏡，4-1.光電探測(cè)器，4-2.鍍膜窗片5.聚焦透鏡，6.光纖，7.熱沉底板。

具體實(shí)施方式