[實用新型]用于移動超薄晶圓的真空吸盤裝置

有效

• 申請號: 201520535681.1
• 申請日: 2015-07-22
• 公開（公告）號: CN204732387U
• 公開（公告）日: 2015-10-28
• 發明（設計）人: 孫錦洋
• 申請（專利權）人: 成都嘉石科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 成都華風專利事務所(普通合伙) 51223
• 代理人: 胡川

1.一種用于移動超薄晶圓的真空吸盤裝置，其特征在于，包括吸盤、隔離環、真空管、密封板、電磁板和真空氣缸；

所述吸盤位于所述密封板下方，所述吸盤上具有多個真空吸孔；所述電磁板位于所述密封板上方，且所述密封板與所述電磁板構成真空腔室；所述隔離環裝在所述吸盤上，所述隔離環用于將所述吸盤劃分為多個獨立的吸附區，每一所述吸附區具有一個真空吸孔，且每一所述吸附區對應設有所述真空管；所述真空管的下端連接所述真空吸孔，所述真空管的上端連通所述真空腔室，且所述真空管的上端具有常閉磁性閥頭；所述真空氣缸位于所述電磁板上方并與所述真空腔室連通，用于對所述真空腔室進行抽真空；其中，所述電磁板在通電時將所述常閉磁性閥頭向上吸起，使所述真空管打開，所述常閉磁性閥頭在所述電磁板斷電時恢復原位，所述真空管關閉。

2.根據權利要求1所述的真空吸盤裝置，其特征在于，所述真空氣缸與所述電磁板可拆卸連接。

3.根據權利要求1所述的真空吸盤裝置，其特征在于，所述真空吸孔均勻排列成同心圓環，最小圓環的直徑為25mm，且相鄰圓環的間距為50mm。

4.根據權利要求1所述的真空吸盤裝置，其特征在于，所述吸盤的材質為金屬或非金屬。

5.根據權利要求4所述的真空吸盤裝置，其特征在于，所述吸盤的形狀為圓形或方形。

6.根據權利要求1所述的真空吸盤裝置，其特征在于，所述真空氣缸包括氣缸腔體、活塞以及彈簧，所述氣缸腔體的一端設有電磁座子和與所述真空腔室連通的抽氣口，所述氣缸腔體的另一端設有排氣口，所述活塞和所述彈簧設置于所述氣缸腔體內，所述彈簧的兩端分別連接活塞和排氣口，其中，當所述電磁座子通電時，所述活塞向所述電磁座子運動，當所述電磁座子斷電時，所述活塞在彈簧作用下向所述排氣口運動。