[實用新型]一種光刻膠前烘缺陷檢測修復裝置

有效

• 申請號: 201520532756.0
• 申請日: 2015-07-21
• 公開（公告）號: CN204882390U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 呂耀安
• 申請（專利權）人: 無錫宏納科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 張海英;徐鵬飛

1.一種光刻膠前烘缺陷檢測修復裝置，其特征在于：包括底板、上料傳送帶、掃描工位、修復工位、下料道和控制系統，所述上料傳送帶設置在底板上，上料傳送帶末端設置有擋板和側推板，所述掃描工位和修復工位設置于底板上且位于側推板前進的方向上，所述掃描工位位于修復工位前側，所述掃描工位和修復工位均包括有固定定位板和活動定位板，所述掃描工位上方設置有可移動掃描裝置，所述修復工位上方設置有可移動修復裝置，所述掃描裝置和移動修復裝置與控制系統電連，所述下料道設置在掃描工位后方，所述側推板和活動定位板均連接有驅動部件。

2.根據權利要求1所述光刻膠前烘缺陷檢測修復裝置，其特征在于：所述掃描裝置和可移動修復裝置通過活動絲桿與固定于底板上的安裝支架連接。

3.根據權利要求1或2所述光刻膠前烘缺陷檢測修復裝置，其特征在于：所述掃描裝置上設置有鈉燈，掃描裝置的掃描部位上還設置有顯微鏡。

4.根據權利要求1所述光刻膠前烘缺陷檢測修復裝置，其特征在于：所述活動定位板為L型折彎板。

5.根據權利要求1所述光刻膠前烘缺陷檢測修復裝置，其特征在于：所述驅動部件為驅動氣缸或驅動油缸。