[實(shí)用新型]常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520532476.X
• 申請(qǐng)日: 2015-07-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205011827U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莊志杰;周鈞;劉戰(zhàn)合
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 賽柏利安工業(yè)技術(shù)（蘇州）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/08
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/08;C23C14/56
• 代理公司: 江蘇銀創(chuàng)律師事務(wù)所 32242
• 代理人: 王紀(jì)營(yíng)

1.一種常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于:所述常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)包括薄膜真空沉積系統(tǒng)和自控卷繞系統(tǒng)；

所述薄膜真空沉積系統(tǒng)包括兩個(gè)分隔開(kāi)的相互獨(dú)立的低真空度腔體和高真空度腔體，所述低真空度腔體與高真空度腔體之間設(shè)置有隔板；

所述薄膜真空沉積系統(tǒng)與所述自控卷繞系統(tǒng)之間設(shè)置有卷繞機(jī)隔板；

所述自控卷繞系統(tǒng)包括卷繞機(jī)底座和自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，所述卷繞機(jī)底座上設(shè)置有多層分開(kāi)的放料機(jī)構(gòu)、自控張緊機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、立式單鼓機(jī)構(gòu)和收料機(jī)構(gòu)；

所述放料機(jī)構(gòu)、自控張緊機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、立式單鼓機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)均與自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)相連接；

所述放料機(jī)構(gòu)為放料輥和放料及分開(kāi)系統(tǒng)，所述收料機(jī)構(gòu)為收料復(fù)合機(jī)構(gòu)和收料輥；所述低真空度腔體和高真空度腔體內(nèi)均設(shè)置有各自獨(dú)立的相互分開(kāi)的真空抽氣系統(tǒng)；所述放料及分開(kāi)系統(tǒng)、立式單鼓機(jī)構(gòu)、同步卷繞機(jī)構(gòu)、收料復(fù)合機(jī)構(gòu)上均設(shè)置有各自獨(dú)立的同步驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；

所述低真空度腔體設(shè)置有可沿著水平軌道開(kāi)合的第一移動(dòng)門(mén),所述高真空度腔體裝設(shè)有第二移動(dòng)門(mén),所述低真空腔體內(nèi)設(shè)置有可視實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于:所述立式單鼓機(jī)構(gòu)上設(shè)置有立式單鼓，所述高真空度腔體內(nèi)圍繞著立式單鼓周?chē)剂硕鄬?duì)立式中頻平面的非平衡陰極，每對(duì)非平衡陰極均設(shè)置有自隔氣的整體式的封閉屏蔽罩和各自獨(dú)立的供氣機(jī)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于:所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)置有表面處理機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于:所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)置有對(duì)分開(kāi)后各層ITO柔性基材的卷繞進(jìn)程有實(shí)時(shí)同步的自動(dòng)糾偏機(jī)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于:所述自控卷繞系統(tǒng)的立式單鼓內(nèi)還設(shè)置有薄膜沉積時(shí)的鼓表面的溫度控制機(jī)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的常溫多層ITO柔性基材單鼓立式連續(xù)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于:所述第二移動(dòng)門(mén)通過(guò)鉸鏈與高真空度腔體鉸接連接。