[實用新型]一種旋轉式振鏡掃描裝置有效
| 申請號： | 201520529430.2 | 申請日： | 2015-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN204771141U | 公開（公告）日： | 2015-11-18 |
| 發明（設計）人： | 黃見洪;翁文;陳金明;李錦輝;阮開明;鄧晶;劉華剛;林文雄 | 申請（專利權）人： | 中國科學院福建物質結構研究所 |
| 主分類號： | B23K26/082 | 分類號： | B23K26/082 |
| 代理公司： | 北京慶峰財智知識產權代理事務所(普通合伙) 11417 | 代理人： | 謝蓉 |
| 地址： | 350002 *** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 旋轉 式振鏡 掃描 裝置 | ||
1.一種旋轉式振鏡掃描裝置，其特征在于：包括激光器、轉軸、掃描振鏡、轉動裝置、工作反射鏡和轉臺，其中：
掃描振鏡固定在轉臺上；
轉軸的第一端連接在掃描振鏡上，轉動裝置驅動轉軸旋轉，從而通過掃描振鏡帶動轉臺旋轉；
轉軸呈中空狀，沿其軸向設置有通孔，工作反射鏡固定在轉臺上，激光器發射的激光經過轉軸的通孔照射到掃描振鏡，隨后激光束依次由掃描振鏡和工作反射鏡反射，照射到轉臺下方的工作面上。
2.如權利要求1所述的旋轉式振鏡掃描裝置，其特征在于：轉動裝置由蝸桿和蝸輪組成，蝸輪套接在轉軸的外側，蝸桿由動力源驅動，通過蝸桿的旋轉驅動蝸輪，帶動轉軸旋轉。
3.如權利要求2所述的旋轉式振鏡掃描裝置，其特征在于：蝸桿的螺旋升角很小，使得蝸桿只能帶動蝸輪傳動，而蝸輪不能帶動蝸桿轉動。
4.如權利要求1所述的旋轉式振鏡掃描裝置，其特征在于：在轉臺上設置有孔洞，工作反射鏡反射的激光束可以穿過所述孔洞照射到工作面上。
5.如權利要求1所述的旋轉式振鏡掃描裝置，其特征在于：轉臺為圓盤狀，掃描振鏡固定在轉臺的中心位置。
6.如權利要求1-5之一所述的旋轉式振鏡掃描裝置，其特征在于：還包括上反射鏡，上反射鏡設置在轉軸的第二端軸向外側，激光器發射的激光束首先經過上反射鏡反射后再穿過轉軸通孔照射到掃描振鏡。
7.如權利要求1-5之一所述的旋轉式振鏡掃描裝置，其特征在于：還包括下反射鏡，下反射鏡可以固定在轉臺上，從掃描振鏡出射的激光束經過下反射鏡反射到工作反射鏡。
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