[實用新型]一種半導體器件加熱與溫控裝置

有效

• 申請號: 201520528007.0
• 申請日: 2015-07-20
• 公開（公告）號: CN204945839U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 王丕龍;王新強;徐旭
• 申請（專利權）人: 青島佳恩半導體有限公司
• 主分類號: G05D23/24
• 分類號: G05D23/24
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 龔燮英

技術領域

本實用新型屬于電子技術領域，具體涉及到一種半導體器件加熱與溫控裝置。

背景技術

在評估測試半導體器件的參數時和使用半導體器件時，經常會需要清楚器件在指定溫度的特性，需要控制半導體器件處于某一溫度值上。

中國專利(公開號CN203689188U，公開日2014年7月2日)公開了一種半導體溫度控制裝置，在導熱金屬板的結構框架上安裝半導體制冷片，利用半導體材料的Peltier效應，控制通入半導體制冷片的電流流向，控制其吸熱或者放熱，從而控制導熱金屬片的溫度。

但上述結構的溫度控制裝置，在需要較高溫度時，加熱需要的電流較高，能耗及設備要求較高，升溫過程較慢。

實用新型內容

本實用新型提供一種半導體器件加熱與溫控裝置，結構簡易，快速升高被測半導體器件溫度。

本實用新型的半導體器件加熱與溫控裝置，包括通過螺栓連接的鋁板A和鋁板B，鋁板A和鋁板B分別連接一PTC加熱板，鋁板A和鋁板B之間安裝半導體制冷片，鋁板A外側安裝循環水箱，鋁板B外側連接絕緣導熱膜，絕緣導熱膜外側連接被測半導體器件；

還包括固態繼電器、電源和與二者連接的溫控儀；

固態繼電器接收溫控儀的指控接通或斷開制冷片電源，電源通過固態繼電器連接半導體制冷片和PTC加熱板。

還包括安裝在絕緣導熱膜上的熱敏電阻，其和溫控儀連接，溫控儀采集熱敏電阻的溫度信號，控制電源接通PTC加熱板或半導體制冷片。

本實用新型的半導體器件加熱與溫控裝置，以兩鋁板作為框架和熱量傳遞主體，兩鋁板之間設置半導體制冷片，控制裝置的制冷和加熱，鋁板A置于循環水箱和半導體制冷片之間，構成一套熱量交換裝置，鋁板B置于半導體制冷片和絕緣導熱膜之間，形成另一套熱量交換裝置，兩鋁板同時和PTC加熱板連接，通過溫控儀控制電源接通或斷開PTC加熱板，對于通過提高制冷片電流提高溫度的裝置，本裝置可實現快速升溫，裝置的結構簡單，成本較低。

附圖說明

圖1為本實用新型的半導體器件加熱與溫控裝置結構示意圖。

圖中：1.鋁板A；2.鋁板B；3.半導體制冷片；4.PTC加熱板；5.循環水箱；6.絕緣導熱膜；7.螺栓；8.固態繼電器；9.電源；10.溫控儀；11.熱敏電阻；12.被測半導體器件。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。

實施例1

參見圖1，本實用新型的半導體器件加熱與溫控裝置，包括通過螺栓7連接的鋁板A1和鋁板B2，鋁板A1和鋁板B2分別連接一PTC加熱板4，鋁板A1和鋁板B2之間安裝半導體制冷片3，鋁板A1外側安裝循環水箱5，鋁板B2外側連接絕緣導熱膜6，絕緣導熱膜6外側連接被測半導體器件12；

還包括固態繼電器8、電源9和與二者連接的溫控儀10；

固態繼電器8接收溫控儀10的指控接通或斷開電源，電源9通過固態繼電器8連接半導體制冷3片和PTC加熱板4。

還包括安裝在絕緣導熱膜上的熱敏電阻11，其和溫控儀10連接，溫控儀10采集熱敏電阻11的溫度信號，控制電源9接通PTC加熱板4和半導體制冷片3。

本實用新型的半導體器件加熱與溫控裝置，以兩鋁板作為框架和熱量傳遞主體，兩鋁板之間設置半導體制冷片3，控制裝置的制冷和加熱，鋁板A1置于循環水箱5和半導體制冷片3之間，構成一套熱量交換裝置，鋁板B2置于半導體制冷片3和絕緣導熱膜6之間，形成另一套熱量交換裝置，兩鋁板同時和PTC加熱板4連接，通過溫控儀10控制電源9接通或斷開PTC加熱板4，對于通過提高制冷片電流提高溫度的裝置，本裝置可實現快速升溫，裝置的結構簡單，成本較低。