[實用新型]一種偏角度切割組合式工件夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520515344.6
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN204773088U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發(fā)明（設計）人: 寇文杰;史舸;焦二強;王曉飛;魏海霞
• 申請（專利權(quán)）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

技術領域

本實用新型屬于半導體晶圓硅片加工技術領域，主要涉及一種偏角度切割組合式工件夾具。

背景技術

線切割機在半導體行業(yè)硅片切割中占據(jù)絕大部分比例，隨著國內(nèi)6英寸半導體晶圓硅片市場的不斷擴大，線切割機在加工中更顯得重要，特別是線切割使用的晶托，由于結(jié)構(gòu)所限，造成6英寸<111>偏4度晶向的晶棒在多線切割上無法進行切割。通常，晶棒通過樹脂板粘接在工件板的粘接面上，工件板和燕尾工件板夾具連接在一起，并裝夾在設備的燕尾槽中，在線切割的高速線網(wǎng)進行切割，實現(xiàn)由晶棒到硅片的過程。但是在實際使用中，由于目前6英寸<111>偏4度晶向的產(chǎn)品越來越多，而且晶棒是傾斜粘接，所以在現(xiàn)有多線切割上無法進行切割，切割中當晶棒切割到線網(wǎng)下時，晶棒的一端會碰到線網(wǎng)下接料盒的端面，造成切割設備過載報警或者整支晶棒的破碎和報廢。

實用新型內(nèi)容

鑒于目前現(xiàn)有技術中所存在的技術問題，本實用新型設計并公開了一種偏角度切割組合式工件夾具，通過對晶托和燕尾槽的重新設計，用以解決現(xiàn)有晶托切割工藝中出現(xiàn)的6英寸<111>偏4度等技術難點問題。

為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采取的具體技術方案是：一種偏角度切割組合式工件夾具，主要由工件板、晶托、燕尾棱夾具、頂絲、斜鐵、燕尾槽構(gòu)成；工件板通過內(nèi)六方螺絲和晶托連接到一起，連接工件板的晶托安裝在燕尾棱夾具上，斜鐵通過頂絲壓緊晶托和燕尾槽，使晶托和燕尾棱夾具上的燕尾槽緊密貼合在一起；燕尾槽通過內(nèi)六方螺絲與切割設備的進給機構(gòu)連接。所述的一種偏角度切割組合式工件夾具，其中工件板為工字型結(jié)構(gòu)設計；所述的一種偏角度切割組合式工件夾具，其中晶托的底部呈“L”型，頂部為燕尾棱型結(jié)構(gòu)。

本實用新型所述的一種偏角度切割組合式工件夾具，解決了傳統(tǒng)線切割無法實現(xiàn)6英寸偏角度切割的問題，底部呈“L”型，頂部為燕尾棱型結(jié)構(gòu)設計的晶托解決了切割中當晶棒切割到線網(wǎng)下時，晶棒的一端會碰到線網(wǎng)下接料盒的端面，造成切割設備過載報警或者整支晶棒的破碎和報廢等問題。本實用新型實現(xiàn)了6英寸晶棒偏角度粘接切割，提高了設備的使用率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、工件板；2、晶托；3、頂絲；4、斜鐵；5、燕尾槽；6、燕尾棱夾具；7、進給機構(gòu)。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖給出本實用新型的具體實施方式如下：

如圖1所示，本實用新型所述的一種偏角度切割組合式工件夾具主要是由工件板1、晶托2、頂絲3、斜鐵4、燕尾槽5、燕尾棱夾具6構(gòu)成，其中，工字型結(jié)構(gòu)工件板1通過內(nèi)六方螺絲與底部呈“L”型、頂部為燕尾棱型結(jié)構(gòu)設計的晶托2連接在一起；晶托2安裝在燕尾棱夾具6上，斜鐵4通過頂絲3壓緊晶托2和燕尾槽5，使晶托2和燕尾槽5緊密配合在一起，燕尾槽5采用內(nèi)六方螺絲與設備的進給機構(gòu)7連接。通過重新設計的工字型工件板1和底部呈“L”型、頂部為燕尾棱型結(jié)構(gòu)的晶托2，晶棒可以在工件板1底部偏角度粘接，實現(xiàn)6英寸及以下尺寸晶棒偏角度切割的需要，解決了切割中當晶棒切割到線網(wǎng)下時，晶棒的一端會碰到線網(wǎng)下接料盒的端面，造成切割設備過載報警或者整支晶棒的破碎、報廢等問題。