[實用新型]分體式PSS刻蝕托盤治具有效

申請號：	201520515294.1	申請日：	2015-07-16
公開（公告）號：	CN204905227U	公開（公告）日：	2015-12-23
發明（設計）人：	魏臻;孫智江;賈辰宇	申請（專利權）人：	海迪科（南通）光電科技有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	226500 江蘇省南通市如***	國省代碼：	江蘇;32
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	體式 pss 刻蝕托盤
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種分體式PSS刻蝕托盤治具，其特征在于：包括由石英、金屬或者陶瓷材料制成的托盤（1）、由石英材料制成的蓋板（2）以及復數個由金屬材料制成的壓環（3），所述的托盤（1）上排列放置多個晶圓片（4），所述的蓋板（2）上設置有多個開孔（5），每個所述的開孔（5）的位置與托盤（1）上的晶圓片（4）的位置相對應以使晶圓片（4）從開孔（5）處露出，每個所述的開孔（5）的邊緣嵌套有壓環（3），所述的壓環（3）呈環形并壓在晶圓片（4）的周向邊緣。

2.根據權利要求1所述的分體式PSS刻蝕托盤治具，其特征在于：所述的蓋板（2）的厚度為3~6mm。

3.根據權利要求1所述的分體式PSS刻蝕托盤治具，其特征在于：每個所述的開孔（5）內壁設置有用于與壓環（3）嵌套安裝的搭階（6）。

4.根據權利要求1所述的分體式PSS刻蝕托盤治具，其特征在于：所述的壓環（3）具有用于壓緊晶圓片（4）的小爪或內環（7）。

5.根據權利要求1所述的分體式PSS刻蝕托盤治具，其特征在于：所述的晶圓片（4）具有定位邊，所述的壓環（3）、開孔（5）也配合設置有定位邊。

6.根據權利要求1所述的分體式PSS刻蝕托盤治具，其特征在于：所述的壓環（3）的厚度與開孔（5）的深度相適應。

7.根據權利要求1所述的分體式PSS刻蝕托盤治具，其特征在于：還包括定位盤，用于將晶圓片（4）放入到托盤（1）預定位置。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于海迪科（南通）光電科技有限公司，未經海迪科（南通）光電科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201520515294.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。