[實用新型]一種分子泵過濾裝置

有效

• 申請號: 201520506031.4
• 申請日: 2015-07-14
• 公開（公告）號: CN204985100U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 韓金波;靳麗婕;張云偉
• 申請（專利權）人: 北京世紀金光半導體有限公司
• 主分類號: F04D29/70
• 分類號: F04D29/70
• 代理公司: 北京中創陽光知識產權代理有限責任公司 11003
• 代理人: 尹振啟

技術領域

本實用新型屬于晶體生長技術領域,特別是涉及一種分子泵過濾裝置。

背景技術

碳化硅單晶生長爐的氣路系統包含三個泵，分別為分子泵、機械泵、控壓泵，其中分子泵與爐腔直接相連。在單晶生長過程中，通過氣路向爐腔內輸送特氣時，殘留在爐腔內裝置上及保溫氈上的雜質，會不可避免的隨氣流進入爐體，然后被吸附進生長坩堝內，作為雜質離子降低晶體質量。這些雜質隨著氣流進入爐腔，與爐腔內殘留的粉塵等物質形成污染源，引起晶體質量下降；高溫下，腔體內的石墨氈會產生石墨纖維，這些纖維也可通過氣路進入分子泵，引起分子泵在高速抽氣時沾污在旋片上造成泵體污染。從而導致噪聲大、縮短分子泵使用壽命。甚至堵塞氣路，這些纖維也作為下次生長時的污染源。

實用新型內容

針對現有技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種分子泵過濾裝置，用來保護分子泵自身，也為了消除氣路中的進入爐體中的雜質。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種分子泵過濾裝置，該過濾裝置設置在連接分子泵與爐體的氣路上，包括：第一濾網和第二濾網，在所述第一濾網和所述第二濾網之間設置有供氣流通過的迷宮通道，所述迷宮通道的底部為雜質容留區域。

進一步，所述第一濾網和所述第二濾網之間的距離為15mm。

進一步，所述迷宮通道為由不在同一平面的兩個隔板將氣流通道隔成“S”型。

在本實用新型中，擋板可以使進入管道的粉塵、顆粒及腔體中產生的石墨纖維等雜質沉積在過濾網內，同時過濾網也可以把雜質吸附在網上，保證分子泵不被污染，堵塞。采用本實用新型的分子泵過濾裝置后，氣流中攜帶的雜質及管道中的雜質絕大部分被攔截在爐腔外，保證了生長室內的潔凈，減少了單晶生長中的引入雜質，提高了晶體質量，為企業帶來效益。

附圖說明

圖1為本實用新型分子泵過濾裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖，詳細說明本實用新型的具體實施方式。

如圖1所示為本實用新型一種分子泵過濾裝置的具體實施例，在本實施例中該過濾裝置安裝在連接分子泵與爐體的氣路上，主要包括：第一濾網1和第二濾網2，第一濾網1和第二濾網2間隔15mm，在第一濾網1和第二濾網2之間設置有供氣流通過的迷宮通道，迷宮通道的底部為雜質5的容留區域。在本實施例中的迷宮通道具體為由不在同一平面的兩個隔板3、4將氣流通道隔成“S”型。

單晶生長的基本步驟分為：抽真空、預溫、升溫、控壓、停爐。抽真空過程中需要開啟控壓泵和機械泵，機械泵管道與分子泵管道相通，氣體最后都是通過分子泵與爐腔相連的管道進入爐腔。機械泵為油泵，在使用過程中不可避免的會產生油分子等雜質，這些雜質隨著氣流進入爐腔，與爐腔內殘留的粉塵等物質形成污染源，引起晶體質量下降。在氣流進入爐腔前增加本實用新型的過濾裝置，可以有效吸附管道內與爐腔內的雜質，降低雜質含量，進而提高晶體生長質量。

上述示例只是用于說明本實用新型，本實用新型的實施方式并不限于這些示例，本領域技術人員所做出的符合本實用新型思想的各種具體實施方式都在本實用新型的保護范圍之內。