[實用新型]一種電弧蒸發源有效
| 申請號： | 201520499219.0 | 申請日： | 2015-07-10 |
| 公開（公告）號： | CN204874720U | 公開（公告）日： | 2015-12-16 |
| 發明（設計）人： | 宋永賓 | 申請（專利權）人： | 青島優百宇真空設備股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 四川君士達律師事務所 51216 | 代理人： | 芶忠義 |
| 地址： | 266000 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電弧 蒸發 | ||
【權利要求書】：
1.一種電弧蒸發源，其特征在于，包括觸發式引弧結構、運動永磁體、引弧針、陰極表面和靶材；所述引弧針位于所述觸發式引弧結構的末端，所述觸發式引弧結構和所述運動永磁體連接，所述靶材的外表面為所述陰極表面。
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