[實(shí)用新型]微球沉積樣品架裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520494086.8
• 申請(qǐng)日: 2015-07-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204779801U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 慈連鰲
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 沈陽(yáng)騰鰲真空技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/458;C23C16/50
• 代理公司: 沈陽(yáng)優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 張志偉

1.一種微球沉積樣品架裝置，具有由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的樣品盤(pán)，其特征在于：還具有壓電陶瓷振動(dòng)器，壓電陶瓷振動(dòng)器設(shè)于真空室中，安裝于步進(jìn)電機(jī)輸出端的樣品架上，樣品盤(pán)固定在壓電陶瓷振動(dòng)器上。

2.按權(quán)利要求1所述的微球沉積樣品架裝置，其特征在于：還具有水平敲擊組件，設(shè)于樣品架的側(cè)邊。

3.按權(quán)利要求2所述的微球沉積樣品架裝置，其特征在于：所述水平敲擊組件包括電磁鐵、彈性連接件及頂桿，其中電磁鐵通過(guò)支架固定安裝在真空室外部，電磁鐵工作端面通過(guò)彈性連接件安裝頂桿，頂桿由真空室外部穿置至真空室內(nèi)，頂桿端部與樣品架以敲擊方式接觸。

4.按權(quán)利要求3所述的微球沉積樣品架裝置，其特征在于：所述樣品架側(cè)邊安裝一擋塊，頂桿端部與該擋塊以敲擊方式接觸。

5.按權(quán)利要求3所述的微球沉積樣品架裝置，其特征在于：所述彈性連接件為壓縮彈簧或波紋管。