[實用新型]自動噴淋式旋干設備用轉子及其設備

有效

• 申請號: 201520485873.6
• 申請日: 2015-07-07
• 公開（公告）號: CN204991653U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 呂承鵬;魏明德;王樂浩;于玉齋;呂康理;張黎明
• 申請（專利權）人: 徐州同鑫光電科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244
• 代理人: 張榮亮

技術領域

本實用新型涉及一種轉子，特別涉及一種自動噴淋式旋干設備用轉子及其設備，屬于半導體設備領域。

背景技術

現有的自動噴淋旋干設備用轉子，其結構如圖1所示，在轉子本體1上一般只開有一個槽位，即第一槽位12，該槽位內可安裝一個晶舟盒2，工作時，通過噴淋旋干設備對第一槽位12內的晶片3進行噴淋旋干作業；另外為了提高轉子旋轉效率，一般在轉子本體1的一側開若干圓洞11來減輕轉子自重，減輕馬達負荷。

使用中發現，由于轉子本體1上僅開有一個槽位，因此每次噴淋作業時僅能清洗一盒25張2英寸的晶片，使噴淋旋干作業效率較低，且原有轉子本體中晶舟盒固定效果差，在高速旋轉的過程中，晶舟盒會有些許變形，偶爾會發生晶舟盒變形導致晶片甩出的情況，造成碎片，嚴重影響了晶片的旋干質量。

發明內容

針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種自動噴淋式旋干設備用轉子，可同時旋轉五盒晶片，有效提高晶片的噴淋旋干效率，還可將晶舟盒很好的固定在轉子本體上，減少甩片，避免碎片的產生。

為了實現上述目的，本實用新型采用的一種自動噴淋式旋干設備用轉子，包括可安裝在噴淋式旋干設備上的轉子本體、設置在轉子本體上用于放置晶舟盒及晶片的若干槽位及設置在轉子本體上的若干圓洞；

所述的槽位包括第一槽位、第二槽位、第三槽位、第四槽位和第五槽位，第三槽位設置在轉子本體的中心，所述的第一槽位與第四槽位對稱設置在第三槽位兩側，所述的第二槽位與第五槽位對稱設置在第三槽位兩側，第一槽位、第二槽位、第四槽位、第五槽位規則排列在第三槽位的外圍；

所述每個槽位內均設有用于固定晶舟盒的固定塊及用于固定晶片的擋桿，所述固定塊設置在晶舟盒底部，擋桿設置在晶片頂部。

作為改進，所述固定塊的數量為兩個，兩個固定塊對稱設置在晶舟盒底部的兩端，所述擋桿的數量為一個。

作為改進，所述的固定塊采用SUS316不銹鋼制成，所述擋桿由特氟龍包裹SUS316不銹鋼制成。

作為改進，所述的固定塊的截面形狀為L形。

作為改進，所述的圓洞具有六個，六個圓洞以第一槽位與第四槽位所在直線對稱設置在轉子本體上。

作為改進，所述的六個圓洞對稱設置在第一槽位的兩側，每側為三個。

另外，本實用新型還提供了一種自動噴淋式旋干設備，包括轉子，該轉子為上述任一項所述的轉子。

本實用新型的有益效果是：在不更換馬達的前提下，原廠轉子只可以旋轉一盒晶片，而改進后的轉子，可以同時旋轉五盒晶片，直接提高產能400％，并且通過轉子槽位內的擋桿和固定塊，有效起到固定晶舟盒，減少甩片，避免碎片的作用，通過對馬達功率的計算，轉子重量的計算，完全達到馬達的負荷，可以正常使用。

附圖說明

圖1為現有轉子的結構示意圖；

圖2為本實用新型的轉子結構示意圖；

圖中：1、轉子本體，11、圓洞，12、第一槽位，121、擋桿，122、固定塊，13、第二槽位，14、第三槽位，15、第四槽位，16、第五槽位，2、晶舟盒，3、晶片。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明了，下面通過附圖中及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。此外，在以下說明中，省略了對公知結構和技術的描述，以避免不必要地混淆本實用新型的概念。本文中的“第一、第二”等用語僅是為了便于描述，以區分具有相同名稱的不同組成部件，并不表示先后或主次關系。

如圖2所示，一種自動噴淋式旋干設備用轉子，包括可安裝在噴淋式旋干設備上的轉子本體1、設置在轉子本體1上用于放置晶舟盒2及晶片3的若干槽位及設置在轉子本體1上的若干圓洞11；

所述的槽位包括第一槽位12、第二槽位13、第三槽位14、第四槽位15和第五槽位16，第三槽位14設置在轉子本體1的中心，所述的第一槽位12與第四槽位15對稱設置在第三槽位14兩側，所述的第二槽位13與第五槽位16對稱設置在第三槽位14兩側，第一槽位12、第二槽位13、第四槽位15、第五槽位16規則排列在第三槽位14的外圍；

所述每個槽位內均設有用于固定晶舟盒2的固定塊122及用于固定晶片3的擋桿121，所述固定塊122設置在晶舟盒2底部，擋桿121設置在晶片3頂部。