[實用新型]一種用于檢測半導體器件的電荷及電場響應的系統

有效

• 申請號: 201520485819.1
• 申請日: 2015-07-07
• 公開（公告）號: CN204789902U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 石將建;孟慶波
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: G01R31/265
• 分類號: G01R31/265;H02S50/10
• 代理公司: 北京智匯東方知識產權代理事務所(普通合伙) 11391
• 代理人: 范曉斌;康正德

1.一種用于檢測半導體器件的電荷及電場響應的系統，其特征在于，包括：

電流回路，待檢測的半導體器件連接在所述電流回路中；

脈沖激光器，用于向待檢測的半導體器件周期性地施加激光脈沖，以在所述半導體器件處形成光生電荷；其中，所述光生電荷在所述電流回路中傳輸以形成瞬態光生電流；

設置在所述電流回路中并與所述半導體器件串聯的采樣電阻；

與所述采樣電阻并聯的電壓信號采集器，用于采集所述采樣電阻的兩端的電壓差信號；

與所述半導體器件并聯的電壓源，用于向所述半導體器件提供周期性變化的調制電壓；和

與所述電壓源串聯的電流隔離器，用于阻止所述瞬態光生電流或所述瞬態光生電流的高頻部分流經所述電壓源。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述電流隔離器包括電感。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述電壓信號采集器包括示波器。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述電壓源為能夠產生多種不同形式的調制電壓的電壓信號發生器。

5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述脈沖激光器包括多個能夠產生不同波長的激光脈沖的激光器，或者所述脈沖激光器為能夠產生多個不同波長的激光脈沖的單個激光器。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括設置在所述脈沖激光器與所述半導體器件之間的濾光片，用于調節所述半導體器件接收到的所述激光脈沖的強度。

7.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括用于容納所述半導體器件的樣品室，用于為所述半導體器件提供預定的溫度環境、氣氛環境和/或電磁屏蔽。

8.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括用于向所述半導體器件提供背景光的偏置光源。

9.根據權利要求8所述的系統，其特征在于，所述偏置光源和所述脈沖激光器布置成使得所述背景光與所述激光脈沖沿不同的角度入射至所述半導體器件。

10.根據權利要求1-9任一項所述的系統，其特征在于，所述半導體器件為太陽能電池。