[實用新型]基于譜域干涉儀的折射率和厚度同步測量系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520484556.2
• 申請日: 2015-07-03
• 公開（公告）號: CN205003080U
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳彤;李艷;劉友文;王吉明;赫崇君;顧曉蓉;王青青
• 申請（專利權(quán)）人: 南京航空航天大學(xué)
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45;G01B11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于譜域干涉儀的折射率和厚度同步測量系統(tǒng)，包括寬帶光源(1)、光纖環(huán)行器(2)、樣品臂(3)、光譜儀(4)和計算機(5)，其中，樣品臂(3)包括第一光纖準直鏡(6)、被測樣品(7)、第一聚焦透鏡(8)和平面鏡(9)，光譜儀(4)包括第二光纖準直鏡(10)、衍射光柵(11)、第二聚焦透鏡(12)和探測器CCD(13)，其特征在于：進入樣品臂(3)的探測光束一部分透過被測樣品(7)被收集和分析，另一部分光束不透過被測樣品(7)被收集和分析，探測器CCD(13)探測從被測樣品(7)前、后表面反射回來的光信號，從平面鏡(9)反射回來的經(jīng)過以及不經(jīng)過被測樣品(7)的光信號。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于譜域干涉儀的折射率和厚度同步測量系統(tǒng)，其特征在于：所述寬帶光源(1)與光纖環(huán)行器(2)的第一端口相連，光纖環(huán)行器(2)的第二端口與樣品臂(3)中的第一光纖準直鏡(6)相連接；樣品臂(3)中的第一光纖準直鏡(6)和第一聚焦透鏡(8)放置在平面鏡(9)的前側(cè)，被測樣品(7)放置在第一光纖準直鏡(6)與第一聚焦透鏡(8)之間，且只允許一部分的光束透過被測樣品(7)；光纖環(huán)行器(2)的第三端口與光譜儀(4)連接，從環(huán)行器(2)的第三端口出射的光束分別經(jīng)過第二光纖準直鏡(10)，衍射光柵(11)、第二聚焦透鏡(12)，聚焦在探測器CCD(13)上，光譜儀(4)中的探測器CCD(13)與計算機(5)連接，計算機(5)進行數(shù)據(jù)處理。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于譜域干涉儀的折射率和厚度同步測量系統(tǒng)，其特征在于：寬帶光源(1)發(fā)出的光進入光纖環(huán)行器(2)的第一端口，經(jīng)光纖環(huán)行器(2)第二端口進入樣品臂(3)，光束經(jīng)第一光纖準直鏡(6)擴散成寬光束，其中一部分光透過被測樣品(7)投射到第一聚焦透鏡上(8)，經(jīng)第一聚焦透鏡(8)聚焦到平面鏡(9)上，經(jīng)平面鏡(9)反射的和經(jīng)被測樣品(7)前、后表面反射的光束沿原路返回至光纖環(huán)行器(2)第二端口，并從光纖環(huán)行器(2)第三端口導(dǎo)入光譜儀(4)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于譜域干涉儀的折射率和厚度同步測量系統(tǒng)，其特征在于：進入樣品臂(3)的另一部分沒有透過被測樣品(7)光束經(jīng)第一光纖準直鏡(6)擴束后經(jīng)第一聚焦透鏡(8)聚焦在平面鏡(9)上，經(jīng)平面鏡(9)反射后沿原路返回至光纖環(huán)行器(2)第二端口，并從光纖環(huán)行器(2)第三端口導(dǎo)入光譜儀(4)；此時，從被測樣品(7)前、后表面返回的兩光束發(fā)生干涉，產(chǎn)生一組干涉信號，以及從平面鏡(9)反射回的、經(jīng)過被測樣品(7)與不經(jīng)過被測樣品(7)的光束發(fā)生干涉，產(chǎn)生另一組干涉信號，以上兩組干涉信號包含被測樣品(7)厚度與折射率的信息，兩組干涉信號被探測器CCD(13)探測到后傳入計算機(5)通過傅里葉變換數(shù)據(jù)處理同時得到被測樣品厚度與折射率的信息。