[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520480913.8
• 申請(qǐng)日: 2015-07-06
• 公開（公告）號(hào): CN204854363U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王道強(qiáng);陳春富
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州虹揚(yáng)科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): F27D3/12
• 分類號(hào): F27D3/12;H01L31/18
• 代理公司: 北京酷愛智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11514
• 代理人: 馬麗娜

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置。

背景技術(shù)

擴(kuò)散爐是用于半導(dǎo)體擴(kuò)散(摻雜)工藝的一種專用設(shè)備，其原理是在高溫環(huán)境下，通過分子的熱運(yùn)動(dòng)，讓磷(P)、鋁(AL)、鎵(Ga)、硼(B)等雜質(zhì)元素進(jìn)入純凈的硅片內(nèi)部，形成PN結(jié)。擴(kuò)散的過程是在爐膛內(nèi)進(jìn)行的，在進(jìn)行擴(kuò)散之前，需要將被擴(kuò)散的硅片通過推拉舟放入爐膛內(nèi)；

目前在半導(dǎo)體及光伏產(chǎn)業(yè)中擴(kuò)散、PECVD自動(dòng)送料系統(tǒng)中，現(xiàn)有的自動(dòng)推拉裝置通常使用絲杠傳動(dòng)，底盤不動(dòng)，只是加持部分局部上下運(yùn)動(dòng)，無法滿足工作的要求；

專利號(hào)為CN202339931U的專利：該專利包括橫向機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、托架機(jī)構(gòu)，其中橫向機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機(jī)與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、聯(lián)軸器、螺旋升降機(jī)、滑軌、滑塊，電機(jī)通過聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)連接，螺旋升降機(jī)與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接；托架機(jī)構(gòu)與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板固定連接；

該專利的有益效果是采用步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)同步帶和同步帶輪來實(shí)現(xiàn)的，降低了維修頻率，解決了更換麻煩的不足；其上下運(yùn)動(dòng)采用整體升降式運(yùn)動(dòng)，減少了推拉舟的占用空間，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性，但是這樣結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且夾持的部位無法具體調(diào)整，這樣在調(diào)節(jié)位置時(shí)，需要對(duì)裝置整體調(diào)節(jié)，浪費(fèi)時(shí)間，降低工作效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中自動(dòng)推拉裝置橫向、豎向運(yùn)動(dòng)不穩(wěn)定，和推拉舟無法局部調(diào)整的技術(shù)問題；

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：

一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置，包括支架，所述支架上方設(shè)置有電機(jī)一，所述電機(jī)一下方設(shè)置有絲桿一，所述絲桿一上安裝有絲桿螺母一，所述絲桿螺母一的背面固定有支撐板，所述支撐板兩端分別安裝有滑塊一和滑塊二，所述滑塊一和滑塊二分別套裝在滑行桿一上，所述滑行桿一豎直安裝在支架上，所述滑塊一上安裝有電機(jī)二，所述滑塊一與滑塊二之間設(shè)置有滑行桿二，所述滑行桿二上套裝有滑塊三，所述電機(jī)二上水平安裝有絲桿二，所述絲桿二上安裝有絲桿螺母二，所述絲桿螺母二設(shè)置在滑塊三內(nèi)部，所述滑塊三外側(cè)設(shè)置有夾持裝置；

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做如下改進(jìn)：

進(jìn)一步，所述支架上均勻設(shè)置有多組滑行桿三，所述滑行桿三上設(shè)置有滑塊四且位于絲桿一兩側(cè)，所述滑塊四與支撐板連接，采用本步的有益效果是通過滑行桿三來限制裝置豎直方向的運(yùn)動(dòng)，可以保證裝置在豎直方向運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性，保證推拉時(shí)的穩(wěn)定性；

進(jìn)一步，所述夾持裝置包括固定桿、固定塊、支撐桿和夾持部，所述固定桿水平焊接在滑塊三上，所述固定塊一端安裝在固定桿上，另一端安裝支撐桿，所述支撐桿下方設(shè)置有夾持部，采用本步的有益效果是通過對(duì)夾持裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)，可以對(duì)夾持的裝置進(jìn)行局部微調(diào)，而不需要對(duì)裝置進(jìn)行整體調(diào)節(jié)，提高工作效率；

進(jìn)一步，所述固定塊與固定桿之間設(shè)置有調(diào)節(jié)螺栓一，所述固定塊與支撐桿之間設(shè)置有調(diào)節(jié)螺栓二，采用本步的有益效果是方便調(diào)節(jié)固定塊的位置，從而方便調(diào)節(jié)夾持部的位置；

進(jìn)一步，所述電機(jī)二為步進(jìn)電機(jī)；

進(jìn)一步，所述滑行桿二的末端設(shè)置有限位塊，采用本步的有益效果是通過限位塊來控制夾持裝置橫向的運(yùn)動(dòng)距離；

進(jìn)一步，所述支架下方設(shè)置有控制箱，采用本步的有益效果是通過控制箱控制電機(jī)一和電機(jī)二；

進(jìn)一步，所述控制箱下方設(shè)置有萬向剎車輪，采用本步的有益效果是控制支架的行走；

本實(shí)用新型通過電機(jī)一、絲桿一和絲桿螺母來進(jìn)行豎直方向上的運(yùn)動(dòng)，將支撐板固定在絲桿螺母上，以此帶動(dòng)支撐板上下運(yùn)動(dòng)；

本實(shí)用新型在支撐板的兩端分別設(shè)置有滑塊一和滑塊二，其中滑塊一用來安裝電機(jī)二，這個(gè)電機(jī)二采用的是步進(jìn)電機(jī)，這樣可以保證水平方向的運(yùn)動(dòng)能夠緩慢運(yùn)動(dòng)；

滑塊二內(nèi)部安裝有絲桿螺母二，電機(jī)二水平方向安裝有絲桿二，通過電機(jī)二、絲桿二和絲桿螺母二的轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)滑塊三水平移動(dòng)；

滑塊二和滑塊一下方設(shè)置有滑行桿一，這樣可以利用滑行桿一保證滑塊二能夠水平滑動(dòng)；

本實(shí)用新型在支架上設(shè)置有滑行桿二，滑行桿二上設(shè)置滑塊三，其中滑塊三用來固定夾持裝置，這樣就可以保證滑塊三能夠水平運(yùn)動(dòng)，其中滑塊三內(nèi)部設(shè)置有絲桿螺母二，通過電機(jī)二帶動(dòng)滑塊三水平運(yùn)動(dòng)，這樣就能實(shí)現(xiàn)夾持裝置的水平運(yùn)動(dòng)；