[實(shí)用新型]一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤(pán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520476892.2
• 申請(qǐng)日: 2015-07-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204991677U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛佳偉;薛佳勇;王海軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 天津眾晶半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/687
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/687;H01L21/68
• 代理公司: 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211
• 代理人: 楊慧玲

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于用于夾持固定的夾盤(pán)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤(pán)。

背景技術(shù)

單晶硅是具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種具有不同的方向?qū)?yīng)不同性質(zhì)的良好半導(dǎo)體材料。高純度的單晶硅可以用于二極管級(jí)、整流器件級(jí)、電路級(jí)以及太陽(yáng)能電池級(jí)單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造，其后續(xù)產(chǎn)品集成電路和半導(dǎo)體分離器件已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，在軍事電子設(shè)備中也占有重要地位。從單晶硅爐中拉制而出的單晶硅經(jīng)過(guò)初加工，呈現(xiàn)為基本規(guī)則的圓柱形，該加工階段的單晶硅仍需要切割機(jī)等設(shè)備進(jìn)行進(jìn)一步的的精加工，由于沒(méi)有能夠?qū)?yīng)加工設(shè)備固定座的夾盤(pán)，所以傳統(tǒng)的圓柱形的單晶硅依靠化學(xué)粘膠粘緊固定在加工設(shè)備的固定座上，不僅固定不穩(wěn)固，而且化學(xué)粘膠異味重，污染大。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型旨在提出一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤(pán)，夾盤(pán)的底部能夠穩(wěn)固定位在加工設(shè)備的固定座上，夾盤(pán)的上部能夠夾緊圓柱形的單晶硅，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，省去使用化學(xué)粘膠的污染。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤(pán)，包括夾盤(pán)本體、移動(dòng)滑塊、卡爪和固定基座，圓盤(pán)形的所述夾盤(pán)本體的上部圓面的徑向方向上均勻開(kāi)有四條夾口槽，所述夾盤(pán)本體在所述夾口槽的中部交匯處開(kāi)有圓形的夾口，所述夾口槽的對(duì)側(cè)內(nèi)壁上各設(shè)有一個(gè)外凸的滑軌，所述移動(dòng)滑塊上設(shè)有對(duì)應(yīng)卡合所述滑軌的滑槽，所述卡爪固定在所述移動(dòng)滑塊上，所述夾口槽的最底端設(shè)有沿所述夾盤(pán)本體徑向走向的絲杠，所述移動(dòng)滑塊的底端設(shè)有對(duì)應(yīng)齒合所述絲杠的外螺紋，所述固定基座包括連接塊、定位塊和定位桿，所述連接塊的上端面固定連接在所述夾盤(pán)本體的下部圓面上，所述連接塊的下端面固定連接有所述定位塊，所述定位塊的底部開(kāi)有對(duì)應(yīng)單晶硅加工設(shè)備固定座的定位卡口，所述定位塊上設(shè)有貫穿所述定位卡口的所述定位桿。

進(jìn)一步的，所述絲杠的頂部帶有六角螺帽。

進(jìn)一步的，所述定位卡口為長(zhǎng)方形。

進(jìn)一步的，所述定位桿的前部連接有用于拔出和推進(jìn)的旋帽。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型所述的用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤(pán)具有以下優(yōu)勢(shì)：

(1)本實(shí)用新型的移動(dòng)滑塊的滑槽對(duì)應(yīng)卡合在夾口槽內(nèi)側(cè)壁上開(kāi)有的滑軌上，移動(dòng)滑塊能夠沿著夾盤(pán)本體徑向方向上開(kāi)有的夾口槽滑進(jìn)滑出，通過(guò)擰動(dòng)夾口槽底端的絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠帶動(dòng)通過(guò)外螺紋與絲杠齒合的移動(dòng)滑塊實(shí)現(xiàn)滑進(jìn)滑出，本實(shí)用新型的四個(gè)移動(dòng)滑塊能夠向中部的夾口匯聚，固定于移動(dòng)滑塊上的卡爪能夠從四個(gè)徑向方向夾緊圓柱形單晶硅，本實(shí)用新型底部的定位塊開(kāi)有的定位卡口能夠卡合在加工設(shè)備的固定座上，定位桿能夠穿過(guò)固定座上設(shè)有的定位孔，進(jìn)一步穩(wěn)固定定位，省去了使用化學(xué)粘膠進(jìn)行固定單晶硅的傳統(tǒng)方法，減少了污染，也省去了加工后清理單晶硅表面的化學(xué)粘膠的麻煩。

(2)本實(shí)用新型的絲杠的頂部帶有六角螺帽，方便通過(guò)六角螺帽擰動(dòng)絲杠，帶動(dòng)移動(dòng)滑塊滑進(jìn)滑出，實(shí)現(xiàn)卡爪夾緊或是松開(kāi)單晶硅；定位桿的前部連接有旋帽，方便拔出或推進(jìn)定位桿。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例上部結(jié)構(gòu)的俯視角度示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

1-夾盤(pán)本體，2-移動(dòng)滑塊，3-卡爪，4-固定基座，11-夾口槽，12-夾口，13-絲杠，131-六角螺帽，21-滑槽，22-外螺紋，41-連接塊，42-定位塊，421-定位卡口，43-定位桿，431-旋帽。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。