[實用新型]電磁高真空充氣閥

有效

• 申請號: 201520474880.6
• 申請日: 2015-07-06
• 公開（公告）號: CN204878893U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 張修楓;梁躍躍;秦杰
• 申請（專利權）人: 上海磊航機械制造有限公司
• 主分類號: F16K15/20
• 分類號: F16K15/20;F16K31/06;F16K51/02;B01D46/00
• 代理公司: 上海欣創專利商標事務所 31217
• 代理人: 包宇霆

技術領域

本實用新型涉及一種用于真空系統的充氣閥，尤其是涉及一種電磁高真空充氣閥。

背景技術

電磁高真空充氣閥是真空系統中一種新出現的閥門，當真空系統中需要破壞真室時，目前常采用手動充氣的方法。用手動充氣的方法，工作效率很低，且不能用自動控制的技術，用充氣閥接入真空系統中，快速而精確地控制真空系統的真空度。如果用一般的電磁閥，不能做到在需要充氣時，靈活地接通空氣和真空系統；而在停止充氣時，難以保證真空系統的密閉性。

發明內容

本實用新型的目的在于：提供一種結構簡單、性能可靠的電磁高真空充氣閥，能在需要充氣時，靈活地接通空氣和真空系統；而在停止充氣時，能保證真空系統的密閉性。

本實用新型是這樣實現的：一種電磁高真空充氣閥，它包括電磁組合、上彈簧、銜鐵、閥芯、小密封圈、下彈簧、夾布膜片、大密封圈、過濾板、主體、上蓋、膜布壓盤、膜片座和耐磨塞。所述銜鐵與所述閥芯滑動配合，所述上彈簧裝在銜鐵內孔里。

所述銜鐵下端內孔里壓入耐磨塞，耐磨塞有中心孔。所述夾布膜片上有小通氣孔，小通氣孔直徑小于所述耐磨塞的中心孔的直徑。

所述閥芯下端固緊在上蓋上，上蓋與主體用螺釘固緊。所述夾布膜片周邊壓緊在上蓋與主體之間，上蓋與夾布膜片之間形成背壓腔室，主體與夾布膜片之間形成工作氣體腔室。

所述下彈簧套在銜鐵下端和所述膜片座上端之間，夾布膜片中間孔套在膜片座上，膜布壓盤內孔緊套在膜片座上，壓緊夾布膜片。

所述主體四邊窗口上各固緊一塊過濾板。

所述耐磨塞的材料為耐磨橡膠。

所述夾布膜片材料為腈綸絲夾布橡膠，使用壽命十萬次以上。

所述主體材料為鋁合金LY12。

所述過濾板材料為銅合金H59。

充氣量較大的電磁高真空充氣閥，主體四邊窗口上，三面接空氣過濾器一面封閉，或二面接空氣過濾器二面封閉，或一面接空氣過濾器三面封閉。

本實用新型的有益效果，使電磁高真空充氣閥能連接在真空系統中，可靠地控制真空系統的真空度，解決了原先用手動方式破壞真空狀態效率低和不能自動控制真空度的問題。

附圖說明

圖1：電磁高真空充氣閥失電關閉狀態圖（實施方案一）；

圖2：電磁高真空充氣閥通電打開狀態圖（實施方案一）；

圖3：電磁高真空充氣閥失電關閉狀態圖（實施方案二）；

圖4：電磁高真空充氣閥通電打開狀態圖（實施方案二）。

具體實施方式

下面結合附圖的實施方式對本實用新型作進一步詳細說明：

實施方案一

如圖1、2所示，一種電磁高真空充氣閥，它包括電磁組合1、上彈簧2、銜鐵3、閥芯4、小密封圈5、下彈簧6、夾布膜片7、大密封圈8、過濾板9、主體10、上蓋11、膜布壓盤12、膜片座13和耐磨塞14。所述銜鐵3與所述閥芯4滑動配合，所述上彈簧2裝在銜鐵3內孔里。

所述膜片座13有中心孔18，所述夾布膜片7上有小通氣孔15，小通氣孔15直徑小于所述膜片座13的中心孔18的直徑。

所述閥芯4下端固緊在上蓋11上，上蓋11與主體10用螺釘固緊。所述夾布膜片7周邊壓緊在上蓋11與主體10之間，上蓋11與夾布膜片7之間形成背壓腔室16，主體10與夾布膜片7之間形成工作氣體腔室17。

所述下彈簧6套在銜鐵3下端和所述膜片座13上端之間，夾布膜片7中間孔套在膜片座13上，膜布壓盤12內孔緊套在膜片座13上，壓緊夾布膜片7。

所述主體10四邊窗口上各固緊一塊過濾板9。

所述耐磨塞14的材料為耐磨橡膠。

所述夾布膜片7材料為腈綸絲夾布橡膠，使用壽命十萬次以上。

所述主體10材料為鋁合金LY12。

所述過濾板9材料為銅合金H59。

實施方案二

如圖3、4所示，充氣量較大的電磁高真空充氣閥，在主體10四邊窗口上，三面接空氣過濾器（圖中未示）一面封閉，或二面接空氣過濾器（圖中未示）二面封閉，或一面接空氣過濾器（圖中未示）三面封閉。

電磁高真空充氣閥的動作過程是：