[實用新型]一種硅片倒片機構

有效

• 申請號: 201520468914.0
• 申請日: 2015-07-03
• 公開（公告）號: CN204732385U
• 公開（公告）日: 2015-10-28
• 發明（設計）人: 陳光
• 申請（專利權）人: 陳光
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 江陰市永興專利事務所(普通合伙) 32240
• 代理人: 彭春艷;陳曉良

1.一種硅片倒片機構，安裝于產線的傳送履帶(10)上，用于將若干硅片在花籃和石英舟之間轉移，其特征在于：包括支持架(1)、直線模組(2)、倒片組件(3)，其中，所述直線模組(2)包括Y軸模組(21)和Z軸模組(22)，Y軸模組(21)的兩端設置于支持架(1)上，Z軸模組(22)垂直設置于Y軸模組(21)上；

所述倒片組件(3)包括設置于Z軸模組(22)的底端的連接板(31)、均勻固定于連接板(31)下表面的若干鉤片(32)，連接板(31)由直線模組(2)驅動在水平和豎直方向移動，鉤片(32)用于鉤取花籃或石英舟中的硅片。

2.根據權利要求1所述的硅片倒片機構，其特征在于：所述支持架(1)由垂直設置于傳送履帶(10)兩側的豎桿(11)組成，所述硅片倒片機構還包括整形組件(4)，所述整形組件(4)包括設置于豎桿(11)上的兩塊基板(41)、設置于基板(41)之間的若干調整桿(42)、若干連接座(43)和若干氣缸(44)，調整桿(42)通過連接座(43)安裝在基板(41)上，氣缸(44)安裝于連接座(43)的外側，由氣缸(44)驅動連接座(43)在基板(41)上滑動、帶動調整桿(42)運動，用于倒片鉤部(3)鉤取硅片后，對將硅片的位置進行調節整齊。

3.根據權利要求1所述的硅片倒片機構，其特征在于：所述鉤片(32)包括“L”形的鉤部(321)。

4.根據權利要求1所述的硅片倒片機構，其特征在于：所述鉤片(32)之間設置隔距塊(322)。

5.根據權利要求1所述的硅片倒片機構，其特征在于：所述傳送履帶(10)設置于機架(100)上，機架(100)相對于水平面傾斜設置，傾斜角的角度為3~5度。

6.根據權利要求1所述的硅片倒片機構，其特征在于：所述支持架(1)上設置位置傳感器，用于定位傳送履帶(10)上的花籃和石英舟的位置。