[實用新型]用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統及多晶硅生產裝置

有效

• 申請號: 201520461598.4
• 申請日: 2015-06-30
• 公開（公告）號: CN204746589U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 孫強;萬燁;嚴大洲
• 申請（專利權）人: 中國恩菲工程技術有限公司
• 主分類號: B03C3/04
• 分類號: B03C3/04;B03C3/40;B03C3/34
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 趙囡囡;吳貴明

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產領域，具體而言，涉及一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統及多晶硅生產裝置。

背景技術

在多晶硅生產領域中，利用改良西門子法生產多晶硅占80％以上，其機理是氫氣和三氯氫硅在發熱的高溫硅芯上發生還原反應生成硅并沉積在硅棒上，由于反應生產的硅不能全部沉積在硅芯棒上，尤其是采用高濃度三氯氫硅混合氣或添加二氯二氫硅運行時，會有一部分以無定形硅的形式被還原尾氣帶出多晶硅還原爐，進入后續干法回收系統，無定形硅會在管路系統中沉積，造成管道、換熱器甚至后續干法回收系統堵塞，產生安全隱患并影響系統的正常運行。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統，以解決現有技術中的還原尾氣出口等易因硅塊累積而堵塞的問題。

為了實現上述目的，根據本實用新型的一個方面，提供了一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統，還原尾氣除塵系統包括對來自多晶硅還原爐的還原尾氣進行凈化處理的靜電除塵結構。

進一步地，還原尾氣除塵系統還包括收集裝置，設置在靜電除塵結構的下方以收集靜電除塵結構吸附的粉塵。

進一步地，收集裝置具有便于清除收集的粉塵的第一開口和與靜電除塵結構連通的第二開口。

進一步地，還原尾氣除塵系統還包括設置在靜電除塵結構和收集裝置之間的除塵輸送管路，在除塵輸送管路上設置開關閥以控制除塵輸送管路的通斷。

進一步地，除塵輸送管路沿豎直方向布置。

進一步地，還原尾氣除塵系統還包括與靜電除塵結構連通的第一還原尾氣輸送管路。

進一步地，還原尾氣除塵系統還包括與除塵輸送管路連通的第二還原尾氣輸送管路。

進一步地，靜電除塵結構包括多個平行排列的電離極和多個平行排列的集塵極，電離極的電勢高于集塵極的電勢。

根據本實用新型的另一方面，提供了一種多晶硅生產裝置，包括具有還原尾氣出口的多晶硅還原爐和設置在還原尾氣出口的還原尾氣除塵系統，還原尾氣除塵系統為前述的還原尾氣除塵系統。

應用本實用新型的技術方案，由于還原尾氣除塵系統包括對來自多晶硅還原爐的還原尾氣進行凈化處理的靜電除塵結構，利用靜電除塵結構的靜電除塵原理可以吸附還原尾氣中的無定形硅等粉塵，有效避免了上述粉塵堵塞還原尾氣口或者后續設備，從而保證了還原尾氣管道的暢通。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1示出了根據本實用新型的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統的實施例的主視結構示意圖；以及

圖2示出了根據本實用新型的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統與多晶硅還原爐連接的結構示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標記：

1、靜電除塵結構；2、開關閥；3、收集裝置；10、第一還原尾氣輸送管路；20、除塵輸送管路；30、第二還原尾氣輸送管路；40、多晶硅還原爐。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。

如圖1和圖2所示，本實用新型的實施例提供了一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統，還原尾氣除塵系統包括對來自多晶硅還原爐的還原尾氣進行凈化處理的靜電除塵結構1。

通過上述設置，利用靜電除塵結構的靜電除塵原理可以吸附還原尾氣中的無定形硅等粉塵，有效避免了上述粉塵堵塞還原尾氣口或者后續設備，從而保證了還原尾氣管道的暢通。

本實用新型的實施例中，靜電除塵結構1包括多個平行排列的電離極和多個平行排列的集塵極，電離極的電勢高于集塵極的電勢。

通過在電離極附近放電，帶電離子附著在空氣中的上述粉塵顆粒上并使粉塵顆粒帶電。帶電的粉塵顆粒被集塵極吸附，附著在集塵極表面，以實現靜電除塵的目的。

如圖1和圖2所示，本實用新型的實施例中，為了有效收集無定形硅等粉塵，還原尾氣除塵系統還包括收集裝置3以及設置在靜電除塵結構1和收集裝置3之間的除塵輸送管路20。其中，收集裝置3設置在靜電除塵結構1的下方以收集靜電除塵結構1吸附的粉塵。