[實用新型]一種新型石墨框有效
| 申請號: | 201520460432.0 | 申請日: | 2015-06-30 |
| 公開(公告)號: | CN204898065U | 公開(公告)日: | 2015-12-23 |
| 發明(設計)人: | 于義超;蔣縱明;李奎 | 申請(專利權)人: | 晶澳(揚州)太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/513 | 分類號: | C23C16/513;C23C16/04 |
| 代理公司: | 廣州知友專利商標代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波;侯莉 |
| 地址: | 225131 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 新型 石墨 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種應用于板式PECVD鍍膜設備上的載板,特別涉及一種新型石墨框。
背景技術
隨著歐盟雙反以及PV行業競爭的加劇,客戶對電池片的外觀(電池片顏色)要求越來越高。現有技術中太陽能電池生產廠家所使用的板式PECVD沿石墨框傳輸方向靠框兩側鍍膜后的硅片(距電池片邊緣5mm以內)時有色差出現,其鍍膜出來的半成品電池片的外觀顏色已不能滿足客戶的要求。
如圖1所示,使用在板式PECVD鍍膜設備上的傳統的石墨框(以5*5石墨框為例)是由寬度不同的石墨碳纖維板組成,其四周石墨碳纖維板1寬度為88mm左右,其中間的縱向4根石墨條2和橫向4根石墨條3(石墨條寬度為9mm左右)相互垂直排列構成了為25個大小相等的(157mm*157mm)的pocket,每個pocket前后(指平行于石墨框的傳輸方向)各有2個鉤點4用來承載硅片,左右(特指垂直于石墨框的傳輸方向)各有2個擋點5用來固定硅片的位置。
傳統石墨框的缺點在于:由于石墨可以吸收等離子體,沿石墨框傳輸方向框兩側的石墨碳纖維板較寬,在鍍膜時,兩邊的石墨碳纖維板會吸收較多的等離子體,導致靠框邊緣的硅片沉積的等離子體相對較少,鍍膜后靠框邊緣的硅片易出現邊緣發紅(即邊緣色差)的現象,從而無法滿足客戶對電池片的外觀(電池片顏色)的要求。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種結構簡單、成本低、可大大減小硅片的邊緣色差、滿足客戶對電池片外觀要求的新型石墨框。
本實用新型的上述目的通過以下的技術措施來實現:一種新型石墨框,包括由石墨板合圍而成的框體和設于框體內的數個石墨條,所述石墨條呈交錯分布且石墨條的兩端連接在石墨板的內邊沿上,在所述石墨條上設有用于定位硅片的定位結構,其特征在于:沿石墨框傳輸方向延伸的石墨板為兩側的石墨板,在所述兩側的石墨板上開設通槽,所述通槽沿兩側的石墨板的長度方向延伸。
本實用新型在沿兩側的石墨板上開有通槽,由于通槽是通孔狀,可以減少鍍膜時石墨對等離子體的吸收,減小鍍膜后靠框邊緣的硅片所出現的邊緣色差,能夠滿足客戶對電池片的外觀(電池片顏色)的要求,同時,采用本實用新型承載硅片對制作出來的電池片的電性能以及電池片的背場粘附力均無任何負面影響。
作為本實用新型的一種優選實施方式,所述通槽由數個間隔設置的長孔組成,所述長孔成列排布。可保證石墨框兩側承載力,避免石墨去除過多,使得石墨框兩側承載力不夠,導致石墨框發生變形、斷裂。
本實用新型所述長孔距離其所設置的石墨板的內邊沿8~20mm。
本實用新型所述長孔的寬度為8~20mm;長孔的長度為1~158mm。
本實用新型所述石墨條呈垂直分布形成若干個空格,所述石墨條包括縱向石墨條和橫向石墨條,所述定位結構包括鉤點和擋點,所述擋點設置在縱向石墨條上,所述鉤點設置在橫向石墨條上,且每個空格的前、后邊各設一對鉤點,左、右邊各設一對擋點。
本實用新型所述石墨板采用石墨碳纖維板。
本實用新型所述長孔由激光加工制成。激光加工屬于非接觸式加工,其功率密度高、穿透力大,局部加熱時移動速度快,熱變形小,不會對石墨框造成損傷和變形,且激光加工制成的長孔表面平整、光滑、無毛刺。
與現有技術相比,本實用新型具有如下顯著的效果:
⑴本實用新型在沿兩側的石墨板上開有通槽,由于通槽是通孔狀,可以減少鍍膜時石墨對等離子體的吸收,減小鍍膜后靠框邊緣的硅片所出現的邊緣色差,能夠滿足客戶對電池片的外觀(電池片顏色)的要求,同時,采用本實用新型承載硅片對制作出來的電池片的電性能以及電池片的背場粘附力均無任何負面影響。
⑵本實用新型的通槽由數個間隔設置的長孔組成,可保證石墨框兩側承載力,避免石墨去除過多,使得石墨框兩側承載力不夠,從而導致石墨框發生變形、斷裂。
⑶長孔由激光加工制成,激光加工屬于非接觸式加工,其功率密度高、穿透力大,局部加熱時移動速度快,熱變形小,不會對石墨框造成損傷和變形,且激光加工制成的長孔表面平整、光滑、無毛刺。
⑷本實用新型結構簡單、易于實現、實用性強。
附圖說明
下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
圖1是現有石墨框的俯視圖;
圖2是本實用新型的俯視圖。
具體實施方式
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





