[實用新型]MEMS慣性傳感器、濕度傳感器集成裝置

有效

• 申請號: 201520456030.3
• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN204758028U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 鄭國光
• 申請（專利權）人: 歌爾聲學股份有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 馬佑平;王昭智

1.一種MEMS慣性傳感器、濕度傳感器集成裝置，其特征在于：包括共用襯底(1)，在所述共用襯底(1)上設有用于慣性傳感器的可動質量塊結構(7)，所述可動質量塊結構(7)包括固定在共用襯底(1)上的錨點(71)，以及通過錨點(71)懸置在共用襯底(1)上方的可動質量塊(70)，在所述共用襯底(1)上還設有第一濕度傳感器電容結構(5)、第二濕度傳感器電容結構(6)，其中所述第一濕度傳感器電容結構(5)、第二濕度傳感器電容結構(6)分別包括設置在共用襯底(1)上的至少一對第一固定極板(50)、第二固定極板(60)，在所述每對第一固定極板(50)、第二固定極板(60)的間隙(50a、60a)中填充有濕敏材料(51、61)；還包括將可動質量塊結構(7)、第一濕度傳感器電容結構(5)密封在所述共用襯底(1)上的第一蓋體(3)；所述第二濕度傳感器電容結構(6)與外界連通。

2.根據權利要求1所述的集成裝置，其特征在于：其中，所述第一濕度傳感器電容結構(5)與第二濕度傳感器電容結構(6)具有相同的初始電容值。

3.根據權利要求2所述的集成裝置，其特征在于：所述第一濕度傳感器電容結構(5)與第二濕度傳感器電容結構(6)具有完全相同的結構。

4.根據權利要求1所述的集成裝置，其特征在于：還設置有將第二濕度傳感器電容結構(6)封裝在所述共用襯底(1)上的第二蓋體(9)，其中，所述第二蓋體(9)上設置有貫通孔(90)。

5.根據權利要求1所述的集成裝置，其特征在于：所述錨點(71)、第一固定極板(50)、第二固定極板(60)與共用襯底(1)之間設置有絕緣層(2)。

6.根據權利要求5所述的集成裝置，其特征在于：所述錨點(71)、可動質量塊(70)以及第一固定極板(50)、第二固定極板(60)在所述共用襯底(1)上具有相同的高度。