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[實用新型]一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室有效

專利信息
申請號: 201520454596.2 申請日: 2015-06-29
公開(公告)號: CN205120553U 公開(公告)日: 2016-03-30
發明(設計)人: 于志偉;盛潤坤;陸生中;李坤;楊禹 申請(專利權)人: 杭州春來科技有限公司
主分類號: G01N21/01 分類號: G01N21/01;G01N21/39
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 312000 浙江省杭州*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 tdlas 技術 反射 氣體
【權利要求書】:

1.一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室,包括罩殼、底盤和設置在罩殼內的若干反射鏡,其特征在于:所述反射鏡包括設置在罩殼內一端的兩個相互對稱設置的第一鍍增反膜凹面鏡、設置在罩殼內另一端的一個與第一鍍增反膜凹面鏡相對應的第二鍍增反膜凹面鏡、設置在第二鍍增反膜凹面鏡一側的兩個相互對稱設置的鍍增反膜平面鏡,所述鍍增反膜平面鏡位于第一鍍增反膜凹面鏡和第二鍍增反膜凹面鏡之間,所述第一鍍增反膜凹面鏡在底盤上的水平位置可調節,所述鍍增反膜平面鏡與第一鍍增反膜凹面鏡相對應,且呈傾斜角度設置。

2.根據權利要求1所述的一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室,其特征在于:所述第一鍍增反膜凹面鏡通過第一支架連接在底盤上,所述第二鍍增反膜凹面鏡通過第二支架連接在底盤上,所述鍍增反膜平面鏡通過第三支架連接在底盤上。

3.根據權利要求2所述的一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室,其特征在于:所述第一鍍增反膜凹面鏡通過腰型孔固定在第一支架上,第一鍍增反膜凹面鏡在第一支架上的水平位置可調節,所述第二鍍增反膜凹面鏡通過膠水粘在第二支架上,所述鍍增反膜平面鏡通過膠水粘在第三支架上。

4.根據權利要求3所述的一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室,其特征在于:所述第一支架、第二支架和第二支架均通過腰型螺釘孔固定在底盤上。

5.根據權利要求4所述的一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室,其特征在于:所述罩殼在第一鍍增反膜凹面鏡對應位置處均設有第一窗片,罩殼在第二鍍增反膜凹面鏡對應位置處均設有第二窗片。

6.根據權利要求5所述的一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室,其特征在于:所述罩殼頂部有2個氣孔,罩殼與底盤連接處設有O形圈。

7.根據權利要求1所述的一種基于TDLAS技術的多路反射氣體室,其特征在于:所述第一鍍增反膜凹面鏡和第二鍍增反膜凹面鏡均為不銹鋼或者石英材質鍍增反膜凹面鏡,所述鍍增反膜平面鏡為不銹鋼或者石英材質鍍增反膜平面鏡。

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