[實用新型]壓力平衡三維微調(diào)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520453372.X
• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN204997331U
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王偉國;王修寶;竇英元;丁永強(qiáng);范佰濤;任軼;魏大勇
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航天動力研究所;北京航天石化技術(shù)裝備工程公司
• 主分類號: B23P19/10
• 分類號: B23P19/10
• 代理公司: 核工業(yè)專利中心 11007
• 代理人: 包海燕

1.一種壓力平衡三維微調(diào)機(jī)構(gòu)，包括臺面組件(10)，其特征在于：還包括斜面副(8)和滑動平面副(3)，斜面副(8)用于對臺面組件(10)上安裝的設(shè)備進(jìn)行高低Z方向調(diào)節(jié)，滑動平面副(3)用于對臺面組件(10)上安裝的設(shè)備進(jìn)行水平X、Y方向調(diào)節(jié)；

所述滑動平面副(3)自上而下包括滑板(2)和基礎(chǔ)組件(1)，滑板(2)下平面與基礎(chǔ)組件(1)上平面相貼合；基礎(chǔ)組件(1)上平面設(shè)有若干個凹面(5)，凹面(5)內(nèi)部通入流體介質(zhì)，通過調(diào)節(jié)流體介質(zhì)壓力使每個凹面(5)產(chǎn)生的壓力與該處對應(yīng)的設(shè)備的重力分力相平衡，進(jìn)而使滑板(2)處于懸浮狀態(tài)，實現(xiàn)水平X、Y方向的調(diào)整力達(dá)到最小；

所述斜面副(8)包括動斜鐵(7)、定斜鐵(6)及調(diào)整機(jī)構(gòu)II(13)；定斜鐵(6)為一楔形鐵塊，其固定于滑動平面副(3)的滑板(2)上方；動斜鐵(7)也為一楔形鐵塊，能夠在臺面組件(10)與定斜鐵(6)之間沿X方向水平運動；調(diào)整機(jī)構(gòu)II(13)與動斜鐵(7)相連接，用于推拉動斜鐵(7)在臺面組件(10)與定斜鐵(6)之間運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力平衡三維微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述凹面(5)周圍設(shè)有與凹面(5)形狀相匹配的密封圈(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力平衡三維微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述調(diào)整機(jī)構(gòu)II(13)通過手動螺桿機(jī)構(gòu)或電、氣、液動螺桿機(jī)構(gòu)實現(xiàn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力平衡三維微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于：滑動平面副(3)還設(shè)有調(diào)整機(jī)構(gòu)I(9)，用于調(diào)整滑板(2)X、Y方向位移。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力平衡三維微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述基礎(chǔ)組件(1)對應(yīng)臺面組件(10)的集中力作用處附近設(shè)置若干套反蠕變力預(yù)置機(jī)構(gòu)(12)，反蠕變力預(yù)置機(jī)構(gòu)(12)將流體介質(zhì)的壓力轉(zhuǎn)換為反蠕變預(yù)置力作用于臺面組件(10)上，調(diào)節(jié)流體介質(zhì)的壓力使其剛好抵消臺面組件(10)的重力。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力平衡三維微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于：在臺面組件(10)和滑動平面副(3)之間設(shè)有限位機(jī)構(gòu)(14)，所述限位機(jī)構(gòu)(14)能夠限制臺面組件(10)、定斜鐵(6)和滑板(2)X、Y方向的移動自由度及轉(zhuǎn)動自由度，還能夠限制動斜鐵(7)Y方向的移動自由度及轉(zhuǎn)動自由度。