[實用新型]用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽及其清洗設備

有效

• 申請號: 201520453360.7
• 申請日: 2015-06-29
• 公開（公告）號: CN204912166U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 王樂浩;魏明德;呂承鵬;于玉齋;呂康理;張黎明
• 申請（專利權）人: 徐州同鑫光電科技股份有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244
• 代理人: 張榮亮

1.一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，包括用于清洗藍寶石晶片的內槽(2)，所述的內槽(2)中接有用于進液的雙氧水管(11)和硫酸管(12)；

其特征在于，還包括設置在內槽(2)外側的外槽(1)，所述的外槽(1)底部開有若干循環孔(14)，循環孔(14)外接循環管路(6)，所述的循環管路(6)上接有循環泵(8)，循環泵(8)的另一端接有循環進酸管(9)，所述的循環進酸管(9)通入至內槽(2)中；

所述內槽(2)的側壁上設置有溫度傳感器(13)及加熱器(10)，當溫度傳感器(13)監測內槽(2)中酸液溫度低于設定溫度時，加熱器(10)啟動對內槽(2)中酸液進行加熱，溫度傳感器(13)監測達到設定溫度后，加熱器(10)停止加熱；

所述外槽(1)的側壁上由低至高依次設置有用于監測液面高度的濃硫酸位置感應器(5)和雙氧水位置感應器(4)，當外槽(1)內液面升至濃硫酸位置感應器(5)時，硫酸管(12)停止進液，當外槽(1)內液面升至雙氧水位置感應器(4)時，雙氧水管(11)停止進液。

2.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，其特征在于，所述的循環管路(6)上還接有耐酸過濾器(7)，所述的耐酸過濾器(7)安裝在循環泵(8)上靠近循環孔(14)的一側，管路內的液體經耐酸過濾器(7)流入循環泵(8)。

3.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，其特征在于，所述的循環泵(8)安裝在清洗槽的外部或機臺的內部，循環泵(8)中接觸酸液的部件采用聚四氟乙烯為材質，循環泵(8)中的換向閥為三向先導閥。

4.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，其特征在于，所述的外槽(1)為三層結構，包括內側的石英槽體、中間的石英纖維層及外側的特氟龍殼體。

5.根據權利要求1或4所述的一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，其特征在于，所述的內槽(2)為三層結構，包括內側的石英槽體、中間的石英纖維層及外側的特氟龍殼體。

6.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，其特征在于，所述的加熱器(10)上外漏導線安裝在由聚偏氟乙烯材料制成的防護密封槽內。

7.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，其特征在于，所述的加熱器(10)為U形加熱器。

8.根據權利要求1所述的一種用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽，其特征在于，所述的外槽(1)的側壁上還裝有高液位位置感應器(3)，所述的高液位位置感應器(3)高于雙氧水位置感應器(4)一定距離。

9.一種清洗設備，其特征在于，該清洗設備中包括權利要求1-8任一項所述的用于藍寶石的內外循環混酸清洗槽。