[實用新型]一種基于光纖光柵微腔的FPI氫氣傳感器有效
| 申請號： | 201520449086.6 | 申請日： | 2015-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN204807443U | 公開（公告）日： | 2015-11-25 |
| 發明（設計）人： | 趙春柳;時菲菲;吳彬青 | 申請（專利權）人： | 中國計量學院 |
| 主分類號： | G01N21/25 | 分類號： | G01N21/25;G01N21/45 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 光纖 光柵 fpi 氫氣 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于光纖光柵微腔的FPI氫氣傳感器，其特征在于：由寬帶光源，單模傳輸光纖，鍍有Pt/WO3膜的光纖光柵微腔FPI傳感頭，氣室，光譜儀構成傳感測量系統；寬帶光源的輸出端與單模傳輸光纖相連，單模傳輸光纖與處于氣室內的鍍有Pt/WO3膜的光纖光柵微腔FPI傳感頭的輸入端相連，鍍有Pt/WO3膜的光纖光柵微腔FPI傳感頭的輸出端與單模傳輸光纖相連，單模傳輸光纖與光譜儀相連；
所述光纖光柵微腔FPI傳感頭由光纖光柵、Pt/WO3膜和微腔組成，光纖光柵使用布拉格光纖光柵，微腔加工在光纖光柵中間位置，微腔的寬度在35μm～45μm之間，深度在66.6μm～76μm之間，形成FPI結構，Pt/WO3膜的厚度在100nm～120nm之間；隨著氫氣濃度的變化，Pt/WO3膜與氫氣發生反應，使膜的折射率發生變化，會改變FP腔的長度，在此結構中，特定波長的光被反射，其余透射光的相位在FP腔中發生改變，從而干涉波峰的位置發生變化，通過測量干涉峰位置的變化，就可以測得氫氣的濃度；光譜儀作為信號解調部分。
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