[實用新型]一種改進的藍寶石單晶爐

有效

• 申請號: 201520448155.1
• 申請日: 2015-06-26
• 公開（公告）號: CN204727992U
• 公開（公告）日: 2015-10-28
• 發明（設計）人: 胡明理;何永慎;李業林;林政育;李宗諺;詹經略
• 申請（專利權）人: 寧夏佳晶科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐組件，特別涉及一種改進的藍寶石單晶爐，屬于單晶爐技術領域。

背景技術

單晶爐是一種在真空環境中,用鎢制加熱器將多晶氧化鋁等多晶材料熔化,用泡生法生長無錯位單晶的設備；而加熱器是藍寶石KY法單晶爐中的主要加熱組件；加熱器主要由鎢棒制作組成，現有的藍寶石KY單晶生長爐在生長制程中，會使用機械真空泵抽取低真空，用以驅動高真空擴散泵浦；而晶體生長是在高真空環境中，除了因為高真空造成爐內保溫材料嚴重揮發之外，也因為高真空環境散熱不易，造成晶體生長難度增加，對成品率與生產成本都造成很大的負擔。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

為解決上述問題，本實用新型提出了一種改進的藍寶石單晶爐，只使用機械真空泵形成保護鎢鉬材料的低真空環境。

(二)技術方案

本實用新型的改進的藍寶石單晶爐，包括機體，及設置于機體上的控制系統；及設置于機體上的晶體生長爐和機械真空泵；所述機械真空泵直接與晶體生長爐安裝。

進一步地，所述晶體生長爐內設置有內保溫層。

進一步地，所述控制系統為低真空生產控制系統。

有益效果

與現有技術相比，本實用新型的改進的藍寶石單晶爐，簡化晶體生長制程中的真空系統，取消高真空擴散泵浦，只使用機械真空泵形成保護鎢鉬材料的低真空環境；通過實驗將控制系統調整為符合低真空的生產數據，縮短生產周期，減少保溫材料損耗。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示的改進的藍寶石單晶爐，包括機體1，及設置于機體上的控制系統2；及設置于機體上的晶體生長爐3和機械真空泵4；所述機械真空泵4直接與晶體生長爐3安裝。

其中，所述晶體生長爐3內設置有內保溫層。所述控制系統2為低真空生產控制系統；其可以通過實驗得到符合低真空的生產數據。

本實用新型的改進的藍寶石單晶爐，簡化晶體生長制程中的真空系統，取消高真空擴散泵浦，只使用機械真空泵形成保護鎢鉬材料的低真空環境；通過實驗將控制系統調整為符合低真空的生產數據，縮短生產周期，減少保溫材料損耗。

上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優選實施方式進行描述，并非對本實用新型的構思和范圍進行限定。在不脫離本實用新型設計構思的前提下，本領域普通人員對本實用新型的技術方案做出的各種變型和改進，均應落入到本實用新型的保護范圍，本實用新型請

求保護的技術內容，已經全部記載在權利要求書中。