[實用新型]一種藍寶石單晶爐加熱控制電路

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520448034.7
• 申請日: 2015-06-26
• 公開（公告）號: CN204731660U
• 公開（公告）日: 2015-10-28
• 發(fā)明（設計）人: 胡明理;何永慎;李業(yè)林;林政育;李宗諺;詹經(jīng)略
• 申請（專利權）人: 寧夏佳晶科技有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20;C30B17/00;C30B29/20
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• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種加熱控制電路，具體涉及一種藍寶石單晶爐加熱控制電路，屬于藍寶石單晶爐技術領域。

背景技術

單晶爐是一種在真空氣體環(huán)境中，用鎢制加熱器將多晶氧化鋁等多晶材料熔化，用泡生法生長無錯位單晶的設備；而加熱器是藍寶石KY法單晶爐中的主要加熱組件；加熱器主要由鎢棒制作組成，采用泡生法工藝的藍寶石爐在加熱時需要高精度的加熱控制系統(tǒng)；現(xiàn)有技術中的藍寶石單晶爐加熱控制電路信號采集比較單一，加熱系統(tǒng)不夠穩(wěn)定；且存在一定的遲延性，及電流電壓達到要求，而溫度沒有達到要求，其需要一定的加熱時間；此時如果僅僅采集溫度，將會造成溫度超過預設值。

實用新型內(nèi)容

(一)要解決的技術問題

為解決上述問題，本實用新型提出了一種藍寶石單晶爐加熱控制電路，提高加熱控制的穩(wěn)定性。

(二)技術方案

本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路，包括數(shù)字控制器，及與數(shù)字控制器電連接的相加器；所述相加器輸出端連接到電源輸出端；及與數(shù)字控制器電連接的預設工藝參數(shù)的存儲模塊、及與電源輸出端電連接的電流采集路和電壓采集電路；所述電流采集路和電壓采集電路輸端均連接數(shù)字控制器和相加器；所述數(shù)字控制器還電連接有溫度采集電路。

進一步地，所述數(shù)字控制器通過DA轉換器電連相加器。

進一步地，所述電流采集路、電壓采集電路和溫度采集電路通過AD轉換器電連接數(shù)字控制器。

進一步地，所述數(shù)字控制器還電連接有聲光報警電路。

進一步地，所述數(shù)字控制器還電連接有LCD。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路，采用雙閉環(huán)反饋控制結構；可以抑制控制系統(tǒng)的干擾，對負荷和操作條件的變化適應性強，控制質量高；能夠將存儲模塊內(nèi)的預設工藝參數(shù)與溫度、輸出電壓、輸出電流對應起來，增加了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和減小加熱系統(tǒng)遲延。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型的藍寶石單晶爐采用傳統(tǒng)的加熱電路；主要包括大功率電力變壓器、晶閘管、集成觸發(fā)芯片、熔斷器、電壓、電流互感器和其他輔助設備與電路；微機控制單晶爐直流加熱電源是將三相工頻交流電經(jīng)過降壓后，通過V1～V6這6個大功率晶閘管構成的三相全控整流橋整流成電壓可調的脈動直流，再通過平波電抗器將脈動的直流濾波變成光滑平穩(wěn)的直流電供給單晶爐石墨加熱器。

如圖1所示的本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路，包括數(shù)字控制器，及與數(shù)字控制器電連接的相加器；所述相加器輸出端連接到電源輸出端；及與數(shù)字控制器電連接的預設工藝參數(shù)的存儲模塊、及與電源輸出端電連接的電流采集路和電壓采集電路；所述電流采集路和電壓采集電路輸端均連接數(shù)字控制器和相加器；所述數(shù)字控制器還電連接有溫度采集電路。

其中，所述數(shù)字控制器通過DA轉換器電連相加器。所述電流采集路、電壓采集電路和溫度采集電路通過AD轉換器電連接數(shù)字控制器。所述數(shù)字控制器還電連接有聲光報警電路。所述數(shù)字控制器還電連接有LCD。

數(shù)據(jù)采集時，能夠將電流、電壓和溫度對應起來，避免因為工作過程中遲延造成誤引導操作；本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路，采用雙閉環(huán)反饋控制結構；采用該種控制結構，可以抑制控制系統(tǒng)的干擾；對負荷和操作條件的變化適應性強，控制質量高；工作時可以將實時采集的電壓信號和電流信號輸入到相加器中，對數(shù)字控制器通過DA轉換器給定的電壓信號進行修正，同時還可以通過AD轉換器送至數(shù)字控制器；數(shù)字控制器進行分析處理；數(shù)字控制器利用系統(tǒng)現(xiàn)場反饋回來的電壓、電流值計算出即時的平均功率值P(P＝UIcos，對于純阻性負載cos＝1)，再送LCD顯示，工作人員就可以隨時查看輸出功率，看其能否滿足單晶生長過程中某些特定階段對溫度精度提出的要求。

上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的構思和范圍進行限定。在不脫離本實用新型設計構思的前提下，本領域普通人員對本實用新型的技術方案做出的各種變型和改進，均應落入到本實用新型的保護范圍，本實用新型請

求保護的技術內(nèi)容，已經(jīng)全部記載在權利要求書中。