[實用新型]分體式濺射薄膜壓力傳感器

有效

• 申請號: 201520445766.0
• 申請日: 2015-06-26
• 公開（公告）號: CN204679199U
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發明（設計）人: 唐俐;黎啟勝;李思忠;劉偉;王小龍;鄧書權;汪勝;王農;季錫林;姜蜀寧;朱昌亞;何建軍;趙川梅
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院總體工程研究所
• 主分類號: G01L9/04
• 分類號: G01L9/04
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340
• 代理人: 楊春

1.一種分體式濺射薄膜壓力傳感器，包括引壓腔體、敏感元件、信號調理電路板、封裝外殼和組合插座，所述引壓腔體與所述敏感元件的壓力感應端連接，所述敏感元件的信號輸出端與所述信號調理電路板的壓力檢測端連接，所述信號調理電路板的信號輸出端與所述組合插座的內端連接；其特征在于：所述敏感元件包括一個具有彈性的杯狀本體，所述杯狀本體的閉口端外端面上設有濺射而成的合金薄膜，所述合金薄膜上設有光刻而成的圓膜式應變片，所述圓膜式應變片的信號輸出端與所述信號調理電路板的壓力檢測端連接，所述杯狀本體的開口端與所述引壓腔體的內端連接且與所述引壓腔體的引壓孔相通，所述分體式濺射薄膜壓力傳感器還包括安裝螺栓、電路板支撐墊圈和“S”形彈簧式接觸片，所述引壓腔體與所述封裝外殼的第一端之間通過所述安裝螺栓連接，所述封裝外殼的第二端與所述組合插座連接，所述信號調理電路板的信號輸出端與所述“S”形彈簧式接觸片的一端連接，所述“S”形彈簧式接觸片的另一端與所述組合插座的內端接觸，所述信號調理電路板通過所述電路板支撐墊圈安裝于所述安裝螺栓上，所述敏感元件、所述電路板支撐墊圈、所述信號調理電路板和所述“S”形彈簧式接觸片均置于所述封裝外殼內。

2.根據權利要求1所述的分體式濺射薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述引壓腔體的內端設有定位空心圓柱，所述定位空心圓柱的圓周外形成外徑依次增大的第一引壓腔體環形平臺和第二引壓腔體環形平臺，所述敏感元件的杯狀本體的開口端套裝于所述定位空心圓柱上且其開口端端面焊接于所述第一引壓腔體環形平臺上，所述安裝螺栓套裝于所述引壓腔體的內端且所述安裝螺栓的第一端端面焊接于所述第二引壓腔體環形平臺上；所述安裝螺栓的第二端端面設有外徑依次增大的第一安裝螺栓環形平臺和第二安裝螺栓環形平臺，所述電路板支撐墊圈的一端端面置于所述第一安裝螺栓環形平臺上，所述封裝外殼的一端端面焊接于所述第二安裝螺栓環形平臺上，所述信號調理電路板粘接于所述電路板支撐墊圈的另一端端面。

3.根據權利要求1或2所述的分體式濺射薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述敏感元件的圓膜式應變片的信號輸出端與所述信號調理電路板的壓力檢測端通過金絲連接。