[實用新型]一種用于氣固反應的配氣系統

有效

• 申請號: 201520444925.5
• 申請日: 2015-06-25
• 公開（公告）號: CN204758378U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 唐曉龍;高鳳雨;易紅宏;趙順征;劉瀟;曹雨萌;周遠松
• 申請（專利權）人: 北京科技大學
• 主分類號: G01N1/38
• 分類號: G01N1/38
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401
• 代理人: 皋吉甫

1.一種用于氣固反應的配氣系統，其特征在于：該配氣系統包括由至少3個供氣單元，與每個所述供氣單元配合使用的氣路組件、第一混合器、第二混合器和至少2個反應器、溫控裝置、氣體檢測裝置和安全泄氣閥，每個所述供氣單元與對應所述氣路組件連接，所述氣路組件均與第一混合器、第二混合器的進氣口連接，所述第一混合器和第二混合器分別對應的所述反應器的進氣口連接，所述溫控裝置與所述反應器控制連接，所述氣體檢測裝置與所述反應器控制連接，所述安全泄氣閥分別設置在所述第一混合器和第二混合器上。

2.如權利要求1所述的用于氣固反應的配氣系統，其特征在于：所述供氣單元包括含減壓器的儲氣罐、一級三通接頭、一級質量流量計和單向閥，所述含減壓器的儲氣罐與所述一級三通接頭的其中一個接口連通、所述一級三通接頭的另一個接口與所述一級質量流量計的一端連通，所述一級質量流量計的另一端與所述單向閥的一端連通。

3.如權利要求2所述的用于氣固反應的配氣系統，其特征在于：該配氣系統還包括清掃氣路組件，所述清掃氣路組件包括主管路和若干針閥，所述主管路的一端端與第一個供氣單元或末尾的供氣單元的一級三通接頭剩下的接口連通，所述主管路與其它供氣單元的一級三通接頭剩下的接口通過一級針閥連通。

4.如權利要求1所述的用于氣固反應的配氣系統，其特征在于：所述氣路組件包括二級三通接頭和2個二級針閥，所述二級三通接頭的一端與所述單向閥連接，所述二級三通接頭的另外兩端通過2個級針閥分別與所述第一混合器和第二混合器進氣口連接。

5.如權利要求1或3所述的用于氣固反應的配氣系統，其特征在于：該配氣系統還包括二級質量流量計，所述二級質量流量計分別所述第一混合器與所對應的所述反應器的連接管路上和所述第二混合器與所對應的的所述反應器的連接管路上。