[實(shí)用新型]一種連續(xù)性水平浸漬鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520438512.6
• 申請(qǐng)日: 2015-06-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204996666U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-01-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林清耿;王洋
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 惠州易暉能源科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B05C9/08
• 分類(lèi)號(hào): B05C9/08;B05C3/10;B05C13/00;B05D3/04;B05D3/02
• 代理公司: 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245
• 代理人: 蔣劍明

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種連續(xù)性水平浸漬鍍膜系統(tǒng)。

背景技術(shù)

薄膜制備設(shè)備是指在潔凈的襯底上通過(guò)制備薄膜的設(shè)備將多功能薄膜制備到襯底上并具備某種特殊功能。而浸漬鍍膜是指將某一特定襯底浸漬到特定的溶液中，從而在襯底上形成具備一定功能的薄膜制備方式。

目前國(guó)內(nèi)在浸漬鍍膜方面做得相對(duì)比較成熟的是采用浸漬提拉鍍膜的方式。浸漬提拉鍍膜也稱(chēng)垂直提拉鍍膜，采用垂直提拉的方式，通過(guò)控制提拉速度、提拉時(shí)間、鍍膜次數(shù)和鍍膜間隔參數(shù)的優(yōu)化從而實(shí)現(xiàn)形成功能膜的作用。垂直提拉方式是目前比較常用的技術(shù)，但其存在很多局限性：

1、功能膜不均勻。垂直提拉鍍膜形成的功能膜在上、中、下各區(qū)域的薄膜均勻差異性會(huì)達(dá)到10％左右，甚至更大。尤其是針對(duì)大面積的垂直提拉鍍膜時(shí)，襯底的底部是最早進(jìn)入到溶液中，最晚離開(kāi)溶液，導(dǎo)致在同等浸漬鍍膜條件下，上、中、下區(qū)域所附著的溶液具有很大的差異，從而影響到最終功能膜的光學(xué)和電學(xué)特性；

2、目前垂直提拉鍍膜均采用的是夾具的方式，夾具夾取玻璃邊緣的寬幅最優(yōu)在10mm左右，在垂直鍍膜的過(guò)程中，這些夾具底部會(huì)浸入到溶液或是清洗液中，導(dǎo)致提拉過(guò)程中或后續(xù)的風(fēng)干工藝等處理過(guò)程中，均會(huì)有殘余的水流重新進(jìn)入到膜面，導(dǎo)致膜面出現(xiàn)大量的缺陷，從而影響到工藝的穩(wěn)定生產(chǎn)。一般情況下，針對(duì)精細(xì)鍍膜，不允許有夾具觸碰到襯底鍍膜面，因觸碰過(guò)的區(qū)域無(wú)法在溶液中形成鍍膜，會(huì)影響成品率和最終終端使用；

3、因面積增大，垂直提拉鍍膜形成的功能膜的均勻性會(huì)顯著下降，因此目前垂直提拉主要還是應(yīng)用在小面積的科研領(lǐng)域。針對(duì)小面積，比如3cm*3cm，垂直提拉鍍膜的均勻性不會(huì)有影響，而且從科研角度考慮取中間最均勻點(diǎn)即可，無(wú)需顧慮整個(gè)面的均勻性，而對(duì)于大面積，比如1400*1100mm的襯底，對(duì)其均勻性的要求則極為苛刻，這是目前的垂直提拉方式無(wú)法穩(wěn)定得以實(shí)現(xiàn)的；

4、垂直提拉鍍膜方式不適合于不同厚度襯底的快速切換。垂直提拉過(guò)程中，溶液槽設(shè)計(jì)是以扁、高設(shè)計(jì)，而且基片要整片浸漬到底部，意味著隨著玻璃的重量越重，溶液面上升的越高，越容易溢出。比如1400(L)*1100(W)*3(T)mm和1400(L)*1100(W)*4(T)mm的襯底，同等面積下，其重量相差4.5KG，同等溶液槽體體積的情況下，會(huì)出現(xiàn)不同程度的溢流，導(dǎo)致不同襯底切換時(shí)需要通過(guò)額外的裝置去不斷進(jìn)行補(bǔ)液，增加額外投資成本；

5、垂直提拉鍍膜的節(jié)拍需要很長(zhǎng)時(shí)間，受不同尺寸、不同厚度玻璃的影響，其提拉速度很慢，否則很容易導(dǎo)致溶液不穩(wěn)定，溶液不穩(wěn)定導(dǎo)致最終在襯底上形成的功能膜不穩(wěn)定、直至影響均勻性。尤其是，大部分浸漬鍍膜的功能膜都是需要經(jīng)過(guò)后續(xù)的清洗等工序處理的，那么意味著采用垂直提拉清洗的方式會(huì)耗費(fèi)大量的時(shí)間，從而無(wú)法規(guī)模化生產(chǎn)；

6、垂直提拉鍍膜對(duì)襯底表面的缺陷及其附著顆粒會(huì)很敏感，在垂直提拉過(guò)程中，這些缺陷或是附著顆粒在功能膜表面滑動(dòng)，導(dǎo)致最終在功能膜表面形成缺陷，影響最終的產(chǎn)品良率；

7、針對(duì)建筑一體化的鍍膜玻璃，從安全角度考慮，其玻璃厚度均為4mm、6mm或是8mm或是更厚，從外觀角度，建筑對(duì)玻璃的外觀顏色一致性要求極為苛刻，意味著對(duì)均勻性的要求更高，因此采用垂直提拉的方式，其局限性會(huì)更加凸顯；

8、針對(duì)大面積的垂直提拉鍍膜，需要設(shè)計(jì)很深的溶液槽體，比如針對(duì)1.4米高的玻璃，意味著槽體需要高于1.4米，而過(guò)深的溶液槽，易導(dǎo)致部分功能溶液會(huì)沉積到底部，從而引起槽體內(nèi)溶液從上到下濃度逐步提升，不利于功能膜的均勻性制備。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)與不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種連續(xù)式水平浸漬鍍膜系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)任何面積浸漬鍍膜的全自動(dòng)、高穩(wěn)定性生產(chǎn)，大幅度降低工序運(yùn)行和清洗所耗費(fèi)的時(shí)間。

實(shí)現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案如下：

一種連續(xù)式水平浸漬鍍膜系統(tǒng)，包括機(jī)器人、機(jī)器人控制中心和循環(huán)滑軌，機(jī)器人與機(jī)器人控制中心信號(hào)連接，所述機(jī)器人滑動(dòng)式設(shè)置在循環(huán)滑軌上，循環(huán)滑軌用于機(jī)器人循環(huán)滑動(dòng)；所述機(jī)器人設(shè)有操作臂，所述操作臂前端設(shè)置數(shù)個(gè)用于吸附襯底基片的吸盤(pán)，機(jī)器人帶動(dòng)操作臂動(dòng)作；循環(huán)滑軌側(cè)旁設(shè)置有鍍膜溶液槽和清洗槽。

優(yōu)選的，所述連續(xù)式水平浸漬鍍膜系統(tǒng)還包括襯底基片預(yù)清洗及定位系統(tǒng)，所述襯底基片預(yù)清洗及定位系統(tǒng)設(shè)置于循環(huán)滑軌側(cè)旁，用于對(duì)襯底基片進(jìn)行預(yù)清洗并定位，以滿(mǎn)足后續(xù)鍍膜工序的要求。

優(yōu)選的，所述連續(xù)式水平浸漬鍍膜系統(tǒng)還包括干燥系統(tǒng)，所述干燥系統(tǒng)設(shè)置在循環(huán)滑軌側(cè)旁；優(yōu)選的，所述干燥系統(tǒng)為烘烤爐或風(fēng)刀裝置。