[實(shí)用新型]一種具有電磁屏蔽效能的垂直互連結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520432405.2
• 申請(qǐng)日: 2015-06-23
• 公開（公告）號(hào): CN204696113U
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝慧琴;陳靖;丁蕾;吳偉偉;任衛(wèi)朋;王立春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海航天測(cè)控通信研究所
• 主分類號(hào): H01L23/525
• 分類號(hào): H01L23/525;H01L23/58
• 代理公司: 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

1.一種具有電磁屏蔽性能的垂直互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：實(shí)心金屬通柱、金屬屏蔽層和金屬氧化物；其中：

所述實(shí)心金屬通柱為封裝基板內(nèi)任意層間垂直互連的金屬導(dǎo)體；

所述金屬屏蔽層為包圍所述實(shí)心金屬通柱的環(huán)形金屬屏蔽層；

所述金屬氧化物為所述實(shí)心金屬通柱和所述金屬屏蔽層之間的環(huán)形絕緣介質(zhì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述實(shí)心金屬通柱的材料與所述金屬屏蔽層的材料為同一種金屬材料；

所述金屬材料為可陽(yáng)極氧化的金屬材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的垂直互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬氧化物環(huán)形介質(zhì)為所述金屬材料被氧化后形成的金屬氧化物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的垂直互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬材料為鈮、鉭、鋁、鈦中的任意一種，對(duì)應(yīng)地，

所述金屬氧化物為氧化鈮、氧化鉭、氧化鋁、氧化鈦中的任意一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述垂直互連結(jié)構(gòu)為單通道垂直互連結(jié)構(gòu)和/或多通道互連結(jié)構(gòu)和/或差分垂直互連結(jié)構(gòu)；

單通道垂直互連結(jié)構(gòu)用于單個(gè)信號(hào)的傳輸；

多通道互連結(jié)構(gòu)用于多個(gè)相鄰的信號(hào)的傳輸，每個(gè)通道均設(shè)置有所述金屬屏蔽層，相鄰兩個(gè)通道之間的所述金屬屏蔽層共用；

差分垂直互連結(jié)構(gòu)用于差分信號(hào)的傳輸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述垂直互連結(jié)構(gòu)的尺寸為微米級(jí)。