[實(shí)用新型]真空鍍膜腔室閥門啟閉裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520432103.5
• 申請(qǐng)日: 2015-06-23
• 公開（公告）號(hào): CN204803401U
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賀強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中建材（內(nèi)江）玻璃高新技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56
• 代理公司: 成都正華專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51229
• 代理人: 李蕊

1.真空鍍膜腔室閥門啟閉裝置，其特征在于：包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸(1)、連桿(2)、固定座(3)、活動(dòng)座(4)和密封梁(5)；所述固定座(3)的兩側(cè)各至少通過一顆固定螺釘(31)固定安裝在鍍膜腔室外壁(6)上；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(1)貫穿于所述固定座(3)，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(1)與所述固定座(3)之間存在一間隙；所述連桿(2)通過至少一顆內(nèi)六角螺釘安裝在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(1)上；所述活動(dòng)座(4)的橫向通過至少一顆傳動(dòng)銷軸(41)安裝在所述連桿(2)上；所述密封梁(5)通過至少一鎖緊機(jī)構(gòu)固定安裝在所述活動(dòng)座(4)的縱向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜腔室閥門啟閉裝置，其特征在于：所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括安裝在所述活動(dòng)座(4)的通孔內(nèi)的圓柱頭軸肩螺釘(51)和所述圓柱頭軸肩螺釘(51)位于通孔內(nèi)那段上套設(shè)的壓縮彈簧(42)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空鍍膜腔室閥門啟閉裝置，其特征在于：所述密封梁(5)的密封面與鍍膜腔室的進(jìn)料口外壁的密封面平行。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空鍍膜腔室閥門啟閉裝置，其特征在于：每根連桿(2)上至少設(shè)置有一顆穿過所述連桿(2)、與所述密封梁(5)接觸，用于使密封梁(5)的密封面與鍍膜腔室的進(jìn)料口外壁的密封面平行的緊定螺釘(21)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空鍍膜腔室閥門啟閉裝置，其特征在于：所述緊定螺釘(21)與所述密封梁(5)接觸端為球形端頭。