[實(shí)用新型]形狀測定裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520431706.3 | 申請日： | 2015-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN204831214U | 公開（公告）日： | 2015-12-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吉田太郎;上原誠 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社V技術(shù) |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華;金丹 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 形狀 測定 裝置 | ||
1.一種測定被測物的形狀的形狀測定裝置，其特征在于，具備：
照明光學(xué)系統(tǒng)，其包含能夠調(diào)節(jié)從光源射出的光的量的照明系統(tǒng)光圈，并且在所述被測物一側(cè)為遠(yuǎn)心；以及
成像光學(xué)系統(tǒng)，其包含成像系統(tǒng)光圈，所述成像系統(tǒng)光圈使所述被測物和接受由該被測物投影的圖像的受光面成光學(xué)共軛的關(guān)系，并且所述成像系統(tǒng)光圈與所述照明系統(tǒng)光圈成共軛關(guān)系，所述成像光學(xué)系統(tǒng)在該被測物一側(cè)為遠(yuǎn)心，
所述照明系統(tǒng)光圈和所述成像系統(tǒng)光圈中的至少一者具備可變機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的形狀測定裝置，其特征在于，
所述形狀測定裝置還具備：對從所述光源射出的光的強(qiáng)度分布進(jìn)行均勻化的均勻化部，
所述均勻化部的射出面和所述被測物具有光學(xué)共軛的關(guān)系。
3.如權(quán)利要求1或2所述的形狀測定裝置，其特征在于，
所述形狀測定裝置還具備：反射穿過了所述照明系統(tǒng)光圈的光、并透過照射到所述被測物的光的半透半反鏡，
所述照明光學(xué)系統(tǒng)通過將由所述半透半反鏡反射的光落射到所述被測物來進(jìn)行照明。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于株式會社V技術(shù)，未經(jīng)株式會社V技術(shù)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201520431706.3/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
