[實用新型]一種PECVD射頻系統進電組件有效
| 申請號： | 201520409287.3 | 申請日： | 2015-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN204792697U | 公開（公告）日： | 2015-11-18 |
| 發明（設計）人： | 陸亮亮;郭必玉;田振超 | 申請（專利權）人： | 江蘇武進漢能光伏有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/205 | 分類號： | H01L21/205;H01R11/01 |
| 代理公司： | 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人： | 徐琳淞 |
| 地址： | 213000 江蘇省常州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 pecvd 射頻 系統 組件 | ||
【權利要求書】：
1.一種PECVD射頻系統進電組件，具有本體(1)；其特征在于：所述本體(1)包括紫銅鍍錫編織網(2)、銅線(3)和不銹鋼接頭(4)，所述銅線(3)一端套接在紫銅鍍錫編織網(2)的內徑孔里，其另一端通過不銹鋼接頭(4)封閉連接。
2.根據權利要求1所述的一種PECVD射頻系統進電組件，其特征在于：所述銅線(3)通過四氟管(5)插接在所述紫銅鍍錫編織網(2)內。
3.根據權利要求1所述的一種PECVD射頻系統進電組件，其特征在于：所述紫銅鍍錫編織網(2)的每根絲的端面面積為6平方毫米。
4.根據權利要求2所述的一種PECVD射頻系統進電組件，其特征在于：所述四氟管(5)分別由4*6規格的四氟管、6*8規格的四氟管和8*10規格的四氟管依次套接。
5.根據權利要求1所述的一種PECVD射頻系統進電組件，其特征在于：所述銅線(3)的規格為10平方毫米。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
