[實(shí)用新型]勻膠機(jī)排風(fēng)裝置及勻膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520396814.1
• 申請(qǐng)日: 2015-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN204746769U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李翼;李偉;顏春李;徐根;張誠(chéng);周學(xué)文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南普照信息材料有限公司;湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): B05C11/08
• 分類號(hào): B05C11/08;B05C11/10
• 代理公司: 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 沈林華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別地，涉及一種勻膠機(jī)排風(fēng)裝置及勻膠機(jī)。

背景技術(shù)

勻膠機(jī)是一種利用旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力原理，將膠液均勻甩開，平鋪到材料表面的機(jī)械裝置，應(yīng)用于各類對(duì)于材料表面涂覆的均勻性有嚴(yán)格要求的實(shí)驗(yàn)或者制造領(lǐng)域。勻膠時(shí)，光刻膠的干燥速度不僅取決于光刻膠的自身性質(zhì)(揮發(fā)性)，而且取決于勻膠過程中基片周圍的空氣狀況，因此，減小基片上面空氣的流動(dòng)以及因空氣流動(dòng)引起的紊亂是非常重要的，勻膠過程中，在光刻膠被甩向基片邊緣的同時(shí)，由于溶劑揮發(fā)，光刻膠得以干燥，造成光刻膠膜厚沿徑向分布不均勻，而通過調(diào)整光刻膠的干燥速度可使整個(gè)基片表面光刻膠的膜厚均勻性保持良好。目前勻膠機(jī)中的排風(fēng)裝置由于無法調(diào)整光刻膠的干燥速度，造成基片表面光刻膠的膜厚均勻性不佳、基片表面變色等缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供了一種勻膠機(jī)排風(fēng)裝置，以解決現(xiàn)有勻膠機(jī)中的排風(fēng)裝置由于無法調(diào)整光刻膠的干燥速度，造成基片表面光刻膠的膜厚均勻性不佳、基片表面變色的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：

一種勻膠機(jī)排風(fēng)裝置，包括風(fēng)機(jī)、排風(fēng)管，風(fēng)機(jī)與排風(fēng)管相連，勻膠機(jī)排風(fēng)裝置還包括至少一根軟管和至少一個(gè)可調(diào)節(jié)閥門，其中，軟管的一端與廢膠槽底部相通，軟管的另一端通過可調(diào)節(jié)閥門與排風(fēng)管相通。

進(jìn)一步地，軟管與排風(fēng)管之間設(shè)有用于收集殘膠的廢膠箱體，可調(diào)節(jié)閥門位于軟管與廢膠箱體的連通處。

進(jìn)一步地，軟管的數(shù)量為多根，多根軟管共用廢膠箱體并經(jīng)廢膠箱體連通排風(fēng)管，每根軟管對(duì)應(yīng)設(shè)有可調(diào)節(jié)閥門。

進(jìn)一步地，軟管的數(shù)量為四根，相應(yīng)地，可調(diào)節(jié)閥門的數(shù)量為四個(gè)，且四根軟管呈90度直角對(duì)稱分布在廢膠槽底部。

進(jìn)一步地，廢膠箱體為抽屜式箱體。

進(jìn)一步地，軟管與可調(diào)節(jié)閥門通過扎帶連接。

進(jìn)一步地，軟管通過扎帶固定在廢膠槽底部。

本實(shí)用新型另一方面還提供：

一種勻膠機(jī)，包括主體機(jī)和勻膠臺(tái)，勻膠臺(tái)設(shè)于主體機(jī)的中間位置處，且與主體機(jī)內(nèi)的電動(dòng)馬達(dá)連接，用于驅(qū)動(dòng)勻膠臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，勻膠機(jī)還包括如上述任一所述的勻膠機(jī)排風(fēng)裝置。

本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型的勻膠機(jī)排風(fēng)裝置及勻膠機(jī)，通過可調(diào)節(jié)閥門來控制軟管的關(guān)閉，從而來控制基片上面空氣的流動(dòng)，以此來調(diào)整光刻膠的干燥速度，使基片表面光刻膠的膜厚均勻性更佳，同時(shí)基片表面也不會(huì)產(chǎn)生變色不良的情況。

除了上面所描述的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)之外，本實(shí)用新型還有其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。下面將參照?qǐng)D，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

附圖說明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的勻膠機(jī)排風(fēng)裝置的一側(cè)視圖；

圖2是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的勻膠機(jī)排風(fēng)裝置的另一側(cè)視圖；

圖3是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的勻膠機(jī)排風(fēng)裝置的又一側(cè)視圖；

圖4是圖3中的勻膠機(jī)排風(fēng)裝置的俯視圖。

附圖標(biāo)記說明：

1：風(fēng)機(jī)；2：排風(fēng)管；3：軟管；4：可調(diào)節(jié)閥門；5：廢膠槽；6：廢膠箱體；7：主體機(jī)；8：勻膠臺(tái)。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實(shí)施。

參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種勻膠機(jī)排風(fēng)裝置，包括風(fēng)機(jī)1、排風(fēng)管2，至少一根軟管3和至少一個(gè)可調(diào)節(jié)閥門4。其中，軟管3的一端與廢膠槽5底部相通，軟管3的另一端通過可調(diào)節(jié)閥門4與排風(fēng)管2相通。風(fēng)機(jī)1用于提供動(dòng)力以將廢膠槽5中的氣體通過軟管3和排風(fēng)管2抽出至大氣中。

本實(shí)施例中，通過可調(diào)節(jié)閥門4調(diào)節(jié)軟管3，以調(diào)節(jié)從廢膠槽5底部排出到排風(fēng)管2中的風(fēng)量大小，從而控制基片上面空氣的流動(dòng)，以此來調(diào)整光刻膠的干燥速度，使基片表面光刻膠的膜厚均勻性更佳，同時(shí)基片表面也不會(huì)產(chǎn)生變色不良的情況。

在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，參照?qǐng)D2，進(jìn)一步地，軟管3與排風(fēng)管2之間設(shè)有用于收集殘膠的廢膠箱體6，可調(diào)節(jié)閥門4位于軟管3與廢膠箱體6的連通處。

本實(shí)施例中，廢膠箱體6的設(shè)置，可使廢膠槽5中的殘膠顆粒以及涂膠時(shí)產(chǎn)生的飛濺顆粒不會(huì)污染排風(fēng)管2，從而不會(huì)使排風(fēng)管2中聚集的顆粒污染源反過來污染涂膠環(huán)境，使基片顆粒不良，并且小塊殘膠及光刻膠固態(tài)顆粒會(huì)儲(chǔ)存在廢膠箱體6中，不會(huì)堵塞排風(fēng)管2。