[發(fā)明專利]選擇性線性蒸發(fā)設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310369910.2
• 申請日: 2013-08-22
• 公開（公告）號: CN103628029A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔虎重;鄭基澤;姜明成;宋旭
• 申請（專利權(quán)）人: SNU精密股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 董敏;田軍鋒

1.一種選擇性線性蒸發(fā)設(shè)備，包括：

多個線性蒸發(fā)器，所述多個線性蒸發(fā)器分別朝向基片蒸發(fā)不同的原材料，并且所述多個線性蒸發(fā)器沿著所述基片的傳輸方向間隔開；

角度限制板，所述角度限制板朝向所述線性蒸發(fā)器的上側(cè)以預(yù)定高度安裝在所述線性蒸發(fā)器的相對側(cè)處，并且限制從所述線性蒸發(fā)器蒸發(fā)的原材料的擴散角度；

遮擋構(gòu)件，所述遮擋構(gòu)件安裝在所述線性蒸發(fā)器的上方并位于所述角度限制板之間，并且所述遮擋構(gòu)件包括使所述線性蒸發(fā)器向外側(cè)打開的打開部以及使所述線性蒸發(fā)器從外側(cè)關(guān)閉的關(guān)閉部；以及

驅(qū)動器，所述驅(qū)動器驅(qū)動所述遮擋構(gòu)件，以在所述原材料從所述線性蒸發(fā)器蒸發(fā)時將所述打開部定位在所述線性蒸發(fā)器的上方，并在所述原材料未從所述線性蒸發(fā)器蒸發(fā)時將所述關(guān)閉部定位在所述線性蒸發(fā)器的上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性線性蒸發(fā)設(shè)備，其中，所述遮擋構(gòu)件的所述打開部與所述關(guān)閉部成排地連接并且沿著橫向于所述基片的所述傳輸方向的方向設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的選擇性線性蒸發(fā)設(shè)備，其中，所述驅(qū)動器包括第一滑輪、第一馬達、第二滑輪以及第二馬達，其中，所述第一滑輪安裝在所述線性蒸發(fā)器的一側(cè)處并且所述打開部的一端纏繞在所述第一滑輪上；所述第一馬達使所述第一滑輪旋轉(zhuǎn)；所述第二滑輪安裝在所述線性蒸發(fā)器的另一側(cè)處并且所述關(guān)閉部的一端纏繞在所述第二滑輪上；所述第二馬達使所述第二滑輪旋轉(zhuǎn)；以及

所述打開部或所述關(guān)閉部通過所述第一馬達與所述第二馬達之間的一者的旋轉(zhuǎn)而選擇性地定位在所述線性蒸發(fā)器的上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性線性蒸發(fā)設(shè)備，其中，所述關(guān)閉部通過將在橫向于所述基片的所述傳輸方向的方向上具有一定寬度的多個板進行連接而形成。