[實用新型]一種多發光單元半導體激光器空間光束輪廓的測試裝置

有效

• 申請號: 201520391137.4
• 申請日: 2015-06-09
• 公開（公告）號: CN204679249U
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發明（設計）人: 劉暉;王昊;孫翔;沈澤南;吳迪;劉興勝
• 申請（專利權）人: 西安炬光科技有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01J11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多發光單元半導體激光器空間光束輪廓的測試裝置，其特征在于：包括多發光單元半導體激光器，分光鏡，快軸放大成像系統，慢軸放大成像系統，圖像傳感器M，圖像傳感器N，工控機；所述的分光鏡設置在多發光單元半導體激光器的出光位置，將多發光單元半導體激光器出射的光分成光束A和光束B；所述快軸放大成像系統設置在光束A傳播方向，用于對光束A在快軸方向進行放大成像；所述圖像傳感器M設置在快軸放大成像系統后端，用于探測經快軸放大成像系統后的光束A的強度分布及光束A中的各個發光單元的相對位置偏移；所述的慢軸放大成像系統設置在光束B傳播方向上，用于將光束B在慢軸方向進行放大成像，所述的圖像傳感器N設置在慢軸放大成像系統后端，用于探測經慢軸放大成像系統后的光束B強度分布及光束B中的各個發光單元的相對位置偏移；所述的工控機與圖像傳感器M及圖像傳感器N進行連接。

2.根據權利要求1所述的多發光單元半導體激光器空間光束輪廓的測試裝置，其特征在于：所述的圖像傳感器M為電荷耦合器件或者互補性金屬氧化物半導體傳感器；圖像傳感器N為電荷耦合器件或者互補性金屬氧化物半導體傳感器。

3.根據權利要求1所述的多發光單元半導體激光器空間光束輪廓的測試裝置，其特征在于：還包括反射鏡，所述的反射鏡設置在光束A的出射方向用于將光束A的發射光方向旋轉90度后入射至快軸放大成像系統；或者所述的反射鏡設置在光束B的出射方向用于將光束B的發射光方向旋轉90度后入射至慢軸放大成像系統。

4.根據權利要求1所述的多發光單元半導體激光器空間光束輪廓的測試裝置，其特征在于：光束A和光束B的光強比例為1：1。

5.根據權利要求1所述的多發光單元半導體激光器空間光束輪廓的測試裝置，其特征在于：所述慢軸放大成像系統為遠心鏡成像系統。