[實用新型]納米材料掃描電子顯微裝置有效
| 申請號： | 201520388491.1 | 申請日： | 2015-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN204809186U | 公開（公告）日： | 2015-11-25 |
| 發明（設計）人： | 陳小梅 | 申請（專利權）人： | 陳小梅 |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28;H01J37/244;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 350206 福建*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 材料 掃描 電子 顯微 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種納米材料掃描電子顯微裝置，其特征在于：所述納米材料掃描電子顯微裝置主要包括掃描發生器(1)、顯像管(2)、放大變換器(3)、放大器(4)、收集器(5)、試樣臺(6)、燈絲(7)和多個透鏡，所述放大器(4)分別與顯像管(2)、收集器(5)和試樣臺(6)連接，多個透鏡設置在燈絲(7)下方。
2.根據權利要求1所述的納米材料掃描電子顯微裝置，其特征在于：所述多個透鏡包括第一透鏡(10)、第二透鏡(11)和第三透鏡(12)。
3.根據權利要求2所述的納米材料掃描電子顯微裝置，其特征在于：所述第一透鏡(10)、第二透鏡(11)和第三透鏡(12)均為電磁透鏡。
4.根據權利要求1所述的納米材料掃描電子顯微裝置，其特征在于：所述燈絲(7)下方依次設置有柵極(8)和陽極(9)。
5.根據權利要求1所述的納米材料掃描電子顯微裝置，其特征在于：所述多個透鏡依次從上到下放置。
6.根據權利要求1所述的納米材料掃描電子顯微裝置，其特征在于：所述收集器(5)和試樣臺(6)對應設置。
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