[實(shí)用新型]微材料掃描電子顯微系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520388360.3 | 申請日： | 2015-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN204809185U | 公開（公告）日： | 2015-11-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳小梅 | 申請（專利權(quán)）人： | 陳小梅 |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28;H01J37/244;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 350206 福建*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 材料 掃描 電子 顯微 系統(tǒng) | ||
1.一種微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述微材料掃描電子顯微系統(tǒng)主要包括掃描發(fā)生器(1)、顯像管(2)、放大變換器(3)、放大器(4)、收集器(5)、試樣臺(6)、燈絲(7)、多個透鏡和微電腦(13)，所述放大器(4)分別與顯像管(2)、收集器(5)和試樣臺(6)連接，多個透鏡設(shè)置在燈絲(7)下方，所述微電腦(13)分別與掃描發(fā)生器(1)、放大變換器(3)和放大器(4)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述多個透鏡包括第一透鏡(10)、第二透鏡(11)和第三透鏡(12)，所述第一透鏡(10)、第二透鏡(11)和第三透鏡(12)均為電磁透鏡，所述燈絲(7)下方依次設(shè)置有柵極(8)和陽極(9)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述多個透鏡依次從上到下放置，所述收集器(5)和試樣臺(6)對應(yīng)設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3之一所述的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述微電腦(13)還連接有一顯示屏(14)。
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