[實用新型]一種高溫分解氟硅酸鈉制備四氟化硅的裝置有效

申請號：	201520380853.2	申請日：	2015-06-04
公開（公告）號：	CN204643859U	公開（公告）日：	2015-09-16
發明（設計）人：	張建剛;陳學航;高文龍;馮永渝	申請（專利權）人：	貴州省產品質量監督檢驗院
主分類號：	C01B33/107	分類號：	C01B33/107
代理公司：	貴陽東圣專利商標事務有限公司 52002	代理人：	蘭艷文
地址：	550000 貴州省貴陽市白云區***	國省代碼：	貴州;52
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種高溫分解硅酸鈉制備氟化裝置
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【權利要求書】：

1.一種高溫分解氟硅酸鈉制備四氟化硅的裝置，其特征在于：包括釜體（3）和法蘭蓋（1），釜體（3）內有托盤架（4），托盤架（4）上可置多個加熱托盤（5），加熱托盤（5）呈環帶形，加熱托盤（5）有四周折邊（6）和中央折邊（7），四周折邊（6）和中央折邊（7）上有通氣缺口（8）；四周折邊（6）與釜體（3）內壁形成氣體排出通道（11），中央折邊（7）之間也組成中央氣體排出道（12）；法蘭蓋（1）頂部連接有出氣管（2）。

2.如權利要求1所述的一種高溫分解氟硅酸鈉制備四氟化硅的裝置，其特征在于：法蘭蓋（1）通過連接螺栓（10）和墊圈（9）與釜體（3）連接。

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