[實用新型]高真空擋板閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520380078.0
• 申請日: 2015-06-04
• 公開（公告）號: CN204922218U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王俊波;王金偉;劉英林
• 申請（專利權(quán)）人: 大連金泰表面工程科技有限公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于真空設(shè)備的部件，特別涉及一種真空泵上使用的高真空擋板閥。

背景技術(shù)

目前高真空設(shè)備的擋板閥有兩種形式，一種為直板式，另一種是插板式。直板式的工作特點是真空泵在氣缸下面，當(dāng)斷開時，與真空室隔絕，當(dāng)工作時，擋板上升到中間位置，擋板處在管道中間，這樣就使氣體流導(dǎo)受阻，且在真空鍍膜過程中，有可能會飄上薄膜，影響其正常工作。第二種插板式閥門，它的特點是工作時完全開放和關(guān)閉，在多次使用后，下端會存留灰塵，在關(guān)閉時就會產(chǎn)生漏氣，影響密封性，降低了泵的效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)不足，一種可以提高抽氣效率，并且密封性好的高真空擋板閥。

本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種高真空擋板閥，包括分子泵，真空設(shè)備管壁，高真空擋板閥閥身和節(jié)流閥，在真空設(shè)備管壁的上平面用螺栓固定一個真空閥支架，真空閥支架的兩側(cè)固定有滑道，上面用螺栓固定一個高真空擋板閥閥身，高真空擋板閥閥身的閥桿與主軸連接，主軸與螺母螺紋連接，螺母上裝一個連接橫軸，連接橫軸兩端裝有徑向軸承，徑向軸承活動地裝在滑道中，主軸活動的穿過連接橫軸中間設(shè)的孔，主軸下端絞連接一個垂直連桿，垂直連桿下端固定一個180°固定絞座，180°固定絞座固定在擋板的中心；在擋板的上面用沉頭把緊螺釘固定兩個90°固定絞座，90°固定絞座上設(shè)有長條孔；在90°固定絞座上活動地裝有支撐連桿，支撐連桿上裝有水平控位螺釘。

本發(fā)明的有益效果是：該發(fā)明密封性能好，抽氣效率高，具有高的氣流傳導(dǎo)性，開關(guān)閥穩(wěn)定，振動小，維修方便，可間接水冷，耐高溫。

附圖說明

以下結(jié)合附圖以實施例具體說明。

圖1是高真空擋板閥的主視圖；

圖2是圖1的局部剖視圖。

圖中：1-真空設(shè)備抽氣口；2-節(jié)流閥；3-真空設(shè)備管道壁；4-緊定螺釘；5-密封板；6-分子泵；7-密封膠圈；8-擋板；9-水平控位螺釘；10-支撐連桿；11-沉頭把緊螺釘；12-90°固定絞座；13-180°固定絞座；14-垂直連桿；15-徑向軸承；16-連接橫軸；17-滑道；18-螺母；19-主軸；20-膠圈；21-進氣孔；22-高真空擋板閥閥身；23-出氣孔；24-長條孔；25-真空閥支架；26-真空室。

具體實施方式

具體實施例，參上附圖，一種高真空擋板閥，包括分子泵6、真空設(shè)備管壁3，高真空擋板閥閥身22和節(jié)流閥2，其特征在于，在真空設(shè)備管壁3的上平面用螺栓固定一個真空閥支架25，真空閥支架25的兩側(cè)固定有滑道17，上面用螺栓固定一個高真空擋板閥閥身22，高真空擋板閥閥身22的閥桿與主軸19連接，主軸19與螺母18螺紋連接，螺母18上裝一個連接橫軸16，連接橫軸16兩端裝有徑向軸承15，徑向軸承15活動地裝在滑道17中，主軸19活動的穿過連接橫軸16中間設(shè)的孔，主軸下端絞連接一個垂直連桿14，垂直連桿14下端固定一個180°固定絞座13，180°固定絞座13固定在擋板8的中心；在擋板8的上面用沉頭把緊螺釘11固定兩個90°固定絞座12，90°固定絞座12上設(shè)有長條孔24；12上活動地裝有支撐連桿10，支撐連桿10上裝有水平控位螺釘9。高真空閥22上端設(shè)有出氣孔23，下端設(shè)有進氣孔21；主軸19與真空閥支架25之間裝有膠圈20；在真空設(shè)備管壁上裝有節(jié)流閥2，密封板5用緊固螺釘4固定在真空設(shè)備管道壁3上，擋板8與密封板5之間裝有密封膠圈7。工作時控制高真空擋板閥閥身22的進氣孔21和出氣孔22即可，操作方便。