[實(shí)用新型]氯硅烷殘液的過濾裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520373298.0
• 申請日: 2015-06-02
• 公開（公告）號: CN204689645U
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張升學(xué);楊永亮;嚴(yán)大洲;萬燁;曾曉國
• 申請（專利權(quán)）人: 中國恩菲工程技術(shù)有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 趙囡囡;吳貴明

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及凈化回收技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種氯硅烷殘液的過濾裝置。

背景技術(shù)

在生產(chǎn)多晶硅過程中，會產(chǎn)生大量的副產(chǎn)物(一般為四氯化硅)。目前，90％以上的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)均采用四氯化硅冷氫化技術(shù)來處理副產(chǎn)物，將其轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)多晶硅的原料三氯氫硅。四氯化硅冷氫化技術(shù)是將冶金級硅粉、氫氣、四氯化硅在一定的溫度、壓力條件下，在催化劑作用下反應(yīng)生成三氯氫硅。然而，冶金級硅粉中含有金屬雜質(zhì)，在四氯化硅氫化過程中容易引入細(xì)微的硅粉和金屬雜質(zhì)。在急冷塔或淋洗塔以及后續(xù)的氯硅烷粗餾過程中，為防止堵塞設(shè)備以及脫除金屬雜質(zhì)，這些細(xì)微硅粉和金屬雜質(zhì)將隨四氯化硅液體由塔底排出，排出的這部分固液混合物即為殘液。若此部分液體直接進(jìn)行外排處理，一方面會造成四氯化硅原料的損失，更重要的是四氯化硅屬于有毒物質(zhì)，與空氣或水接觸后，形成酸霧，造成環(huán)境污染。

目前，回收氯硅烷殘液的途徑比較多，大部分均采用殘液蒸發(fā)法，即通過外加熱量，將氯硅烷從殘液中蒸發(fā)出來，從而通過冷凝氯硅烷蒸汽實(shí)現(xiàn)液固分離。然而，采用蒸發(fā)法處理殘液能耗較高，蒸汽消耗比較大，該方法需要通過機(jī)械攪拌提高熱質(zhì)交換效率，裝置的密封性差，容易泄露，造成設(shè)備損壞和環(huán)境污染。此外，蒸發(fā)的氯硅烷蒸汽容易將微量的粉末和金屬雜質(zhì)帶入后續(xù)的系統(tǒng)，造成分離不徹底。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供了一種氯硅烷殘液的過濾裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中氯硅烷的回收率較低的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種氯硅烷殘液的過濾裝置，該過濾裝置包括一個(gè)或多個(gè)并聯(lián)設(shè)置的過濾器，各過濾器設(shè)置有氯硅烷殘液入口，氯硅烷殘液通過各過濾器后得到固體渣和過濾液，且過濾器的底部設(shè)置有固體渣出口，過濾器的頂部設(shè)置有過濾液出口。

進(jìn)一步地，每個(gè)過濾器包括過濾器殼體和設(shè)置于過濾器殼體中的濾芯單元，濾芯單元包括多個(gè)濾芯和設(shè)置于相鄰濾芯之間以及最外側(cè)的濾芯與過濾器殼體之間的花盤。

進(jìn)一步地，濾芯選自布袋、金屬濾芯或陶瓷濾芯。

進(jìn)一步地，每個(gè)過濾器包括設(shè)置于濾芯上方的反吹入口，氯硅烷殘液入口設(shè)置于濾芯的下方。

進(jìn)一步地，反吹入口設(shè)置于花盤上方的過濾器殼體中。

進(jìn)一步地，過濾裝置還包括反吹瓶以及設(shè)置于反吹瓶和反吹入口之間的反吹管道，反吹瓶中盛有惰性氣體或者氯硅烷。

進(jìn)一步地，各濾芯依次等間距排列。

進(jìn)一步地，各濾芯呈長方盒狀，且各濾芯的頂部為開口。

進(jìn)一步地，過濾裝置還包括設(shè)置于過濾器的上游的氯硅烷殘液儲罐和殘液輸送泵，氯硅烷殘液包括粉塵、金屬化合物和氯硅烷。

進(jìn)一步地，過濾裝置還包括設(shè)置于氯硅烷殘液儲罐和氯硅烷殘液入口之間的殘液輸送管道，且殘液輸送泵設(shè)置于殘液輸送管道中。

應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，通過采用過濾器對氯硅烷殘液進(jìn)行處理，從而將氯硅烷殘液中的固含物大部分脫出得到氯硅烷液體。整個(gè)過濾裝置操作、運(yùn)行可靠，氯硅烷回收率高，純度高，而且在節(jié)能降耗、環(huán)保方面有顯著的效果。

附圖說明

構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了根據(jù)本實(shí)用新型的過濾裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；以及

圖2示出了本實(shí)用新型的過濾裝置中的過濾器剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本申請。

需要注意的是，這里所使用的術(shù)語僅是為了描述具體實(shí)施方式，而非意圖限制根據(jù)本申請的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說明書中使用術(shù)語“包含”和/或“包括”時(shí)，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。