[實用新型]一種剝離液過濾系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520372337.5
• 申請日: 2015-06-02
• 公開（公告）號: CN204672091U
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張偉明;劉宏
• 申請（專利權(quán)）人: 上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;B01D53/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及環(huán)境保護技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種剝離液過濾系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著國內(nèi)半導體、液晶面板及光電產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展，帶動了相關(guān)所用化學品的發(fā)展。剝離液是在半導體及液晶面板等領(lǐng)域常用的化學品，其排氣微粒分布的區(qū)域廣泛，在微粒大于等于10微米及3-10微米之間的微粒濃度均非常高。由于剝離液排氣直接排放會對大氣造成污染，因此需將其進行過濾處理后再排放。

目前，常見的剝離液排氣處理系統(tǒng)多包括剝離液冷凝器、濕式洗滌塔、廢水處理廠等。由制程機臺排出的剝離液排氣經(jīng)剝離液冷凝器的凈化處理，廢氣中的高沸點揮發(fā)性有機溶劑等被冷凝，將冷凝后的液體回收經(jīng)純化作用回制程端循環(huán)使用。濕式洗滌塔通過填料等對溶劑的吸附作用，能夠?qū)冸x液排氣中的部分微粒吸附達到凈化的目的。剝離液排氣經(jīng)剝離液冷凝器與濕式洗滌塔的作用后，凈化后的氣體由濕式洗滌塔的煙囪排出，而溶劑則進入廢水處理廠進行處理，如通過生物處理設(shè)備(厭氧→好氧→厭氧→好氧)等進行凈化。

然而，由于剝離液冷凝器只能對粒徑大于或等于10微米的微粒進行處理，因此對于粒徑小于10微米的微粒，剝離液冷凝器無法有效收集，也就是冷凝器內(nèi)除霧器的效能是不足以有效捕集顆粒粒徑10微米以下的污染粒子。而在后續(xù)的濕式洗滌塔的處理中，雖然其對于顆粒粒徑大于5微米的污染粒子有很好的處理效果，而對于粒徑小于5微米的污染粒子吸附凈化作用較弱。因此，對于顆粒粒徑較小的次微米微粒，剝離液冷凝器與濕式洗滌塔均不能夠?qū)ζ溥M行有效處理，造成微粒直接由濕式洗滌塔的煙囪排出。由于微粒的透光率很差，在光線的折射作用下形成白煙，對大氣造成污染。

綜上所述，如何有效地解決剝離液過濾系統(tǒng)對剝離液排氣的回收效率低、煙囪出口有白煙等問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種剝離液過濾系統(tǒng)，該剝離液過濾系統(tǒng)可以有效地解決剝離液排氣的回收效率低、煙囪出口有白煙的問題。

為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種剝離液過濾系統(tǒng)，包括剝離液冷凝器和濕式洗滌塔，還包括設(shè)置于所述剝離液冷凝器和所述濕式洗滌塔之間的深度過濾器；

所述深度過濾器包括殼體，所述殼體開設(shè)有與所述剝離液冷凝器連通的進風口和與所述濕式洗滌塔連通的出風口，所述殼體內(nèi)設(shè)置有能夠過濾顆粒粒徑小于3微米微粒的濾芯，且所述殼體的底部設(shè)置有用于排出回收液體的出液口。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于支撐所述濾芯的支撐網(wǎng)。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述支撐網(wǎng)為聚丙烯支撐網(wǎng)或聚氯乙烯支撐網(wǎng)。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述支撐網(wǎng)的上端設(shè)置有端板，下端設(shè)置有法蘭。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述濾芯為聚丙烯濾芯或聚四氟乙烯濾芯。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于測量回收液體液位的液位計。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于輸送所述回收液體的氣動隔膜泵和用于在所述液位計測量得到所述回收液體達到第一預(yù)設(shè)液位時控制所述氣動隔膜泵開啟、并在所述液位計測量得到所述回收液體低于第二預(yù)設(shè)液位時控制所述氣動隔膜泵關(guān)閉的控制器。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于清洗過濾器的清洗管，所述清洗管設(shè)置有噴嘴且伸入所述深度過濾器內(nèi)部。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于測量其差壓的差壓表。

優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器包括并列設(shè)置的多個濾芯，且每個所述濾芯均與所述進風口和所述出風口直接連通。

本實用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)包括剝離液冷凝器、濕式洗滌塔和深度過濾器。其中，深度過濾器包括殼體和設(shè)置于殼體內(nèi)的濾芯，殼體開設(shè)有進風口和出風口，殼體的底部設(shè)置有用于排出回收液體的出液口，濾芯為能夠過濾顆粒粒徑小于3微米的濾芯。