[實用新型]一種多晶硅烘干裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520368562.1 | 申請日： | 2015-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN204757632U | 公開（公告）日： | 2015-11-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王荷君 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽日能中天半導(dǎo)體發(fā)展有限公司 |
| 主分類號： | F26B23/06 | 分類號： | F26B23/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 237200 *** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多晶 烘干 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種多晶硅烘干裝置，包括滾輪、機(jī)架、發(fā)熱燈套件、導(dǎo)槽、左不完全齒輪、右不完全齒輪、齒條、連接桿、小滾輪，其特征在于：所述機(jī)架底面四角設(shè)有滾輪，所述機(jī)架側(cè)面上方設(shè)有導(dǎo)槽，所述齒條下設(shè)有小滾輪，所述小滾輪與導(dǎo)槽內(nèi)底面相接觸，所述齒條上方設(shè)有左不完全齒輪和右不完全齒輪，所述發(fā)熱燈套件通過兩根連接桿與齒條相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅烘干裝置，其特征在于：左不完全齒輪與右不完全齒輪各參數(shù)完全相同，初始位置左不完全齒輪與齒條嚙合，右不完全齒輪輪齒朝向為豎直向上，左不完全齒輪為繞定軸逆時針轉(zhuǎn)動，右不完全齒輪繞定軸順時針轉(zhuǎn)動，兩齒輪轉(zhuǎn)動速度一致。
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