[實用新型]CO2激光器的非平面鏡調節裝置

有效

• 申請號: 201520367287.1
• 申請日: 2015-06-01
• 公開（公告）號: CN204793604U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 王占鋒;劉昌軍;周桂兵;陳根余;陳燚;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08
• 代理公司: 深圳市君盈知識產權事務所(普通合伙) 44315
• 代理人: 陳琳

技術領域

本實用新型屬于CO2激光器制造領域，尤其涉及一種CO2激光器的非平面鏡調節裝置。

背景技術

高功率軸快流CO2激光器誕生以來，以轉換效率高，輸出模式好，性能穩定，較橫流CO2激光器體積小等優勢在工業生產中得到廣泛應用，隨著應用范圍的逐步擴展，對輸出功率的要求也在不斷的提升，從最初的1KW軸快流激光器到目前的5KW、8KW、10KW、甚至更高的激光器都有需求。

對于CO2激光器來說，影響激光器功率模式穩定性的一個重要方面就是諧振腔上鏡片的調節結構的穩定性。鏡片調節結構的不穩定會直接導致激光器模式變化，功率變化，指向變化，甚至無法使用。

如圖1所示，普通前尾鏡調節裝置，雖然調節精度較高，但不穩定因素太多。首先球面墊10和調節架錐面孔20采用的軸線外定位，使鏡片中心不能很好地固定在軸線上；而調節螺紋副30、40、50之間采用螺牙差的形式提高精度，但是單個調節點就有6副螺紋要加工，累積誤差會制成其定位精度不高，這就使得兩個調節點之間以及其對定位點之間產生應力，致使鏡片中心不能定位到光軸軸線上。如果是平面鏡，其影響不大；但是CO2激光器一般都采用穩定腔，凹面鏡就必不可少，這樣一來，在裝配過程中有可能發現調節螺紋組搖擺，裝配不到位，或裝到位后調節螺紋間有應力，螺紋松緊不一致等情況；在調試過程中會發現兩組調節螺紋之間相互影響，難以調出理想模式，即使調出來，由于其內在的應力，經過老化，開關機測試后，模式也會發生變化，再加上運輸震動，模式的變化更大。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的在于提供一種CO2激光器的非平面鏡調節裝置，以解決現有鏡片調節結構不穩定而導致激光器模式變化的問題。

本實用新型實施例是這樣實現的，一種CO2激光器的非平面鏡調節裝置，其特征在于，包括調節座和調節架，所述調節架上設有帶有第一通孔的弧形部，所述第一通孔貫穿整個調節架；所述調節座上設有第二通孔，所述弧形部適配的收容于所述第二通孔內；所述弧形部與所述調節座的接觸點構成一個球形結構；所述調節座和所述調節架通過壓縮螺桿固定連接；

其中，所述調節架上還設有與所述第一通孔同軸的鏡片座，所述鏡片座內安裝有鏡片，所述鏡片靠近所述弧形部一側表面的中心與所述球形結構的球心重合。

進一步地，所述調節架延所述第一通孔遠離所述弧形部的方向上設置有調節部，所述調節部收容于所述第二通孔內，所述調節座上橫向對稱設置有調節螺釘，所述調節螺釘與所述調節部的外壁相互抵持。

進一步地，所述調節螺釘為4個，分別均勻的繞調節座設置。

進一步地，所述調節螺釘與所述調節部之間設有滾珠。

進一步地，所述調節部與所述調節座之間設有密封裝置。

進一步地，所述密封裝置為O型密封圈，所述O型密封圈有個，分別延第一通孔方向設置。

進一步地，壓縮螺桿與所述調節架之間設有蝶形彈簧組件。

進一步地，所述密封裝置為O型密封圈，所述O型密封圈有2個，分別延第一通孔方向設置。

本實用新型實施例提供的CO2激光器的非平面鏡調節裝置，采用激光軸線內定位，并利用球面結構定位激光的表面中心，使得激光靠近弧形部一側的表面中心在調節過程中始終位于激光光軸G上，在利用調節部與調節座之間的O型密封圈做同軸導向，固定反射方向，調節螺釘實現加工誤差的校正與固定，解決了現有的結構在裝配、調試、老化、開關機測試以及運輸過程中產生的偏差，實現了激光功率的穩定。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是現有技術中鏡片調節裝置的立體圖；

圖2是本實用新型實施例提供的CO2激光器的非平面鏡調節裝置的剖視圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。