[實用新型]一種冷卻凈化裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520365024.7 | 申請日： | 2015-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN204679759U | 公開（公告）日： | 2015-09-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | 魏龍飛;方潔 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 冷卻 凈化 裝置 | ||
1.一種冷卻凈化裝置，用于冷卻、凈化光刻機的物鏡鏡頭和掩模臺上的掩模板，其特征在于，所述裝置包括供氣源、第一固定板、第二固定板和第一凈化罩，所述第一凈化罩設在所述鏡頭上方，所述第一固定板設在所述第一凈化罩上，所述第一固定板上設有出氣孔，該出氣孔與所述第一凈化罩連通，所述第一凈化罩上設有與所述供氣源連通的進氣口，通過該進氣口將氣體引入到所述鏡頭表面；所述第二固定板設在所述掩模板上方，所述第二固定板上設有與所述供氣源連通的通氣孔，通過該通氣孔將氣體引入到所述掩模板表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板上設有第二凈化罩，所述第二凈化罩上設有與所述供氣源連通的進氣口，氣體通過該進氣口和所述第二固定板上的通氣孔到達所述掩模板表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二凈化罩與所述第二固定板的連接處設有密封件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板中設有中空結(jié)構(gòu)，該中空結(jié)構(gòu)設有與所述供氣源連通的進氣口，氣體通過該進氣口和所述第二固定板上的通氣孔到達所述掩模板表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板與所述掩模臺之間設有移動板，該移動板固定在所述掩模臺上，并隨所述掩模臺運動，所述移動板上設有通氣孔，該通氣孔與所述第二固定板上的通氣孔連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第一固定板上設有水冷通道，所述水冷通道內(nèi)注入溫控水。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述水冷通道的截面為圓形、方形或腰孔形。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述溫控水的水溫為21.8℃～22℃。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板的側(cè)面設有用于連接所述掩模臺的連接片，該連接片上設有腰形孔，所述第二固定板通過腰形孔調(diào)節(jié)與所述掩模臺之間的垂向距離。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述供氣源內(nèi)充有過壓氣體。
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