[實(shí)用新型]一種差分電容式MEMS壓力傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520363881.3 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN204964093U | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-01-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄭國(guó)光 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 歌爾聲學(xué)股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01L9/12 | 分類號(hào)： | G01L9/12;G01L19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 馬佑平;王昭智 |
| 地址： | 261031 山東省*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 種差 電容 mems 壓力傳感器 | ||
1.一種差分電容式MEMS壓力傳感器，其特征在于，包括：
敏感結(jié)構(gòu)層(2)，包括位于中部的公共敏感部(22)，以及位于公共敏感部(22)邊緣的公共支撐部(20)，所述公共敏感部(22)連接在公共支撐部(20)的側(cè)壁上，且公共支撐部(20)的厚度大于公共敏感部(22)的厚度，使得敏感結(jié)構(gòu)層(2)的截面整體呈啞鈴型；
上固定電極結(jié)構(gòu)層(3)，包括懸置在公共敏感部(22)上方、并與公共敏感部(22)組成電容結(jié)構(gòu)的上固定電極(32)，所述上固定電極(32)上設(shè)置有腐蝕孔(33)；
下固定電極結(jié)構(gòu)層(4)，與上固定電極結(jié)構(gòu)層(3)結(jié)構(gòu)一致，二者沿著敏感結(jié)構(gòu)層(2)上下對(duì)稱，所述下固定電極結(jié)構(gòu)層(4)包括懸置在公共敏感部(22)下方、并與公共敏感部(22)組成電容結(jié)構(gòu)的下固定電極(42)；所述下固定電極(42)上設(shè)置有腐蝕孔(43)；
用于支撐的襯底(1)，所述襯底(1)與公共敏感部(22)之間形成了真空腔(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS壓力傳感器，其特征在于：所述公共支撐部(20)上與公共敏感部(22)連接的位置具有過(guò)渡的公共斜面，該公共斜面包括位于公共支撐部(20)上表面的第一斜面(21)，以及位于公共支撐部(20)下表面的第二斜面(24)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS壓力傳感器，其特征在于：
所述上固定電極結(jié)構(gòu)層(3)包括連接上固定電極(32)邊緣的上固定電極支撐部(30)，所述上固定電極支撐部(30)通過(guò)絕緣層(5)與公共支撐部(20)的上表面連接；
所述下固定電極結(jié)構(gòu)層(4)包括連接下固定電極(42)邊緣的下固定電極支撐部(40)，所述下固定電極支撐部(40)與通過(guò)絕緣層(5)與公共支撐部(20)的上表面連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS壓力傳感器，其特征在于：
所述上固定電極結(jié)構(gòu)層(3)還包括呈傾斜狀的上固定電極連接部(31)，所述上固定電極(32)通過(guò)上固定電極連接部(31)與上固定電極支撐部(30)連接，且所述上固定電極連接部(31)位于第一斜面(21)的上方，且與第一斜面(21)具有相同的斜度；
所述下固定電極結(jié)構(gòu)層(4)還包括呈傾斜狀的下固定電極連接部(41)，所述下固定電極(42)通過(guò)下固定電極連接部(41)與下固定電極支撐部(40)連接，且所述下固定電極連接部(41)位于第二斜面(24)的下方，且與第二斜面(24)具有相同的斜度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS壓力傳感器，其特征在于：所述上固定電極連接部(31)與第一斜面(21)之間、所述下固定電極連接部(41)與第二斜面(24)之間分別設(shè)有絕緣層(5)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS壓力傳感器，其特征在于：
所述下固定電極支撐部(40)上設(shè)置有導(dǎo)電部，該導(dǎo)電部貫穿絕緣層、公共支撐部(20)與上固定電極支撐部(30)連接在一起，并在上固定電極支撐部(30)上隔離形成下固定電極(42)的第一導(dǎo)電觸點(diǎn)(80)；
在所述公共支撐部(20)上設(shè)置有導(dǎo)電部，該導(dǎo)電部貫穿絕緣層與上固定電極支撐部(30)連接在一起，并在上固定電極支撐部(30)上隔離形成公共敏感部(22)的第二導(dǎo)電觸點(diǎn)(81)；
在所述上固定電極支撐部(30)上還設(shè)置有上固定電極(32)的第三導(dǎo)電觸點(diǎn)(82)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS壓力傳感器，其特征在于：所述襯底(1)通過(guò)絕緣層連接在下固定電極結(jié)構(gòu)層(4)的下固定電極支撐部(40)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS壓力傳感器，其特征在于：所述襯底(1)通過(guò)絕緣層連接在敏感結(jié)構(gòu)層(2)的公共支撐部(20)上，所述下固定電極結(jié)構(gòu)層(4)懸置在真空腔(7)內(nèi)。
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