[實用新型]一種電路板曝光機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520360226.2
• 申請日: 2015-05-29
• 公開（公告）號: CN204740422U
• 公開（公告）日: 2015-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳勝燕;莫軍
• 申請（專利權(quán)）人: 遂寧威士凱科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都金英專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51218
• 代理人: 袁英

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及曝光機，特別是一種電路板曝光機。

背景技術(shù)

曝光機是集電子光學(xué)、電氣、機械、真空、計算機技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70?年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，它常用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細印制領(lǐng)域。

在電路板加工過程中，需要對電路板進行曝光，而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機曝光，但是現(xiàn)有的曝光機結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、曝光效率不高和曝光質(zhì)量不高，而且由于曝光室內(nèi)的溫度在光照的作用下，會持續(xù)升溫，曝光燈極易損壞，從而影響電路板的曝光質(zhì)量，增加設(shè)備檢修頻率，影響電路板的曝光效率，從而增加了電路板的制造成本。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種效率高、曝光質(zhì)量好和使用壽命長的電路板曝光機。

本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種電路板曝光機，它包括放板臺、曝光室、輸送導(dǎo)軌、曝光平臺和曝光燈，所述的放板臺的臺面與曝光室的入口相對應(yīng)，所述曝光燈安裝在曝光室內(nèi)的曝光平臺下方，所述的輸送導(dǎo)軌為上下平行的兩個導(dǎo)軌，且每個輸送導(dǎo)軌上滑動安裝有一曝光平臺，所述的曝光平臺包括透光平臺座和翻轉(zhuǎn)蓋，所述的翻轉(zhuǎn)蓋可轉(zhuǎn)動打開或合上的安裝在透光平臺座上，所述的翻轉(zhuǎn)蓋內(nèi)設(shè)置有一層擋光膜，所述的曝光室內(nèi)水平設(shè)置有一伸縮氣缸，伸縮氣缸的兩組活塞桿分別與曝光平臺連接，所述的曝光室內(nèi)設(shè)置有一頂升氣缸，頂升氣缸上固定安裝有一燈臺座，曝光燈安裝在燈臺座上方，所述的曝光室內(nèi)安裝有一風機，頂升氣缸安裝在風機上方，所述的風機的上邊緣上連接有一燈光罩，曝光燈位于燈光罩內(nèi)，燈光罩內(nèi)設(shè)置有一溫度傳感器，溫度傳感器與風機電性連接。

所述的曝光室上方設(shè)置有一控制室，控制室的控制元件控制伸縮氣缸與頂升氣缸運動。

所述的擋光膜為黑色擋光膜。

本實用新型具有以下優(yōu)點：本實用新型的曝光機，通過伸縮氣缸實現(xiàn)曝光平臺的交替曝光，提高了曝光機的工作效率；通過頂升氣缸控制曝光燈的距離，使曝光平臺始終處于最佳曝光位置，提高了電路板的曝光質(zhì)量；曝光平臺山的翻轉(zhuǎn)蓋上設(shè)置有一黑色擋光膜，避免了漏光現(xiàn)象，進一步地提高了電路板的曝光質(zhì)量；設(shè)置有燈光罩，燈光罩將曝光燈的光源進行反射，放射后的光源形成平行光對電路板的曝光面進行曝光，燈光罩降低了光源的流失，在相同曝光強度下，可以降低曝光燈數(shù)量，節(jié)約能耗；設(shè)置有風機和溫度傳感器，可隨時監(jiān)測曝光室內(nèi)溫度，風機工作，可降低曝光室內(nèi)的溫度，避免曝光燈長期處于高溫狀態(tài)下，從而延長了曝光燈的使用壽命。

附圖說明

圖1?為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2?為本實用新型的剖視示意圖；

圖3?為曝光平臺張開示意圖；

圖4?為翻轉(zhuǎn)蓋俯視示意圖；

圖中，1-放板臺，2-曝光室，3-控制室，4-曝光平臺，5-輸送導(dǎo)軌，6-伸縮氣缸，7-頂升氣缸，8-燈臺座，9-翻轉(zhuǎn)蓋，10-透光平臺座，11-擋光膜，12-曝光燈，13-風機，14-燈光罩，15-溫度傳感器，16-柵格板。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的描述，本實用新型的保護范圍不局限于以下所述：