[實用新型]一種節約能耗的大臺面曝光機

有效

• 申請號: 201520360221.X
• 申請日: 2015-05-29
• 公開（公告）號: CN204989747U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 陳勝燕;莫軍
• 申請（專利權）人: 遂寧威士凱科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218
• 代理人: 袁英

技術領域

本實用新型涉及曝光機，特別是一種節約能耗的大臺面曝光機。

背景技術

曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備，70年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業，是在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，它常用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制領域。

在電路板板加工過程中，需要對電路板進行曝光，而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機曝光，但是現有的曝光機曝光的尺寸較小，不適用于大尺寸的電路板曝光，若將現有的曝光機對大尺寸的電路板進行曝光，其曝光的效果極差，電路板的曝光面曝光不均勻，特別是電路板邊緣地帶的曝光效果極差，而且由于曝光室內的溫度在光照的作用下，會持續升溫，曝光燈極易損壞，從而影響電路板的曝光質量。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的缺點，提供一種能耗少、適用于大尺寸電路板曝光和曝光效果好的節約能耗的大臺面曝光機。

本實用新型的目的通過以下技術方案來實現：一種節約能耗的大臺面曝光機，它包括放板臺、曝光室、輸送導軌、曝光平臺和曝光燈，所述的放板臺的臺面與曝光室的入口相對應，所述的曝光平臺包括透光平臺座和翻轉蓋，所述的翻轉蓋可轉動打開或合上的安裝在透光平臺座上，所述的翻轉蓋內設置有一層擋光膜，所述的曝光室內水平設置有一伸縮氣缸，伸縮氣缸的活塞桿與曝光平臺連接，所述的曝光室內設置有一燈光罩，所述的曝光燈安裝在燈光罩內，所述的燈光罩下方設置有一風機，燈光罩內設置有一溫度傳感器，溫度傳感器與風機電性連接，所述的曝光室的側壁上開設有柵格板，柵格板上端的水平高度低于燈光罩上端的水平高度。

所述的曝光室上方設置有一控制室，控制室內的控制元件控制伸縮氣缸。

所述的擋光膜為黑色擋光膜。

所述的燈光罩上方開口且其截面為弧形。

所述的曝光燈為多個，且并排的的設置在燈光罩內。

本實用新型具有以下優點：本實用新型的節約能耗的大臺面曝光機，設置有燈光罩，燈光罩將曝光燈的光源進行反射，放射后的光源形成平行光對電路板的曝光面進行曝光，燈光罩降低了光源的流失，在相同曝光強度下，可以降低曝光燈數量，節約能耗；燈光罩將曝光燈的光源放射，保證了光源直射電路板的曝光面，實現電路板的全方位曝光，提高了電路板的曝光效果；通過燈光罩反射光源，使曝光機適用于大尺寸的電路板曝光，且曝光效果極好；設置有風機和溫度傳感器，可隨時監測曝光室內溫度，風機工作，可降低曝光室內的溫度，避免曝光燈長期處于高溫狀態下，從而延長了曝光燈的使用壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的剖視示意圖；

圖3為曝光平臺張開示意圖；

圖4為翻轉蓋俯視示意圖；

圖中，1-放板臺，2-曝光室，3-輸送導軌，4-曝光平臺，5-曝光燈，6-透光平臺座，7-翻轉蓋，8-擋光膜，9-伸縮氣缸，10-燈光罩，11-控制室，12-風機，13-溫度傳感器，14-柵格板。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步的描述，本實用新型的保護范圍不局限于以下所述：